Алумина керамички манипулатор

Алумина керамички манипулаторсе нарекува и алумина керамичка вилушка и краен ефектор за ракување со нафора. Тој е инсталиран на роботот за ракување со нафора и е еквивалентен на раката на роботот. Се користи за носење, транспортирање и позиционирање на полупроводнички наполитанки.Силиконски наполитанкисе екстремно подложни на контаминација од други честички, така што тие обично се ракуваат во вакуумска средина за да се обезбеди чистота. Алумина керамичките манипулатори користат вшмукување со негативен притисок за да ги отстранат наполитанките и да ги транспортираат полупроводничките наполитанки преку телескопски, ротирачки и подигнувачки движења на раката. Во внатрешноста на алумина-керамичкиот манипулатор има отвори за воздух и вентилациони жлебови, кои можат да формираат вакуум при пумпање воздух, така што полупроводничките наполитанки може да се адсорбираат со лесен контакт без притискање или оштетување на полупроводничките наполитанки.

Добро е познато дека колку е почист составот наалумина керамикае, толку поголема ќе биде неговата сила. Семикорекс алумина керамичките манипулатори се направени од керамика со висока чистота на алумина. Ова резултира со исклучителна механичка сила и цврстина. Нивната отпорност на абење далеку ја надминува онаа на челикот и хромираниот челик, овозможувајќи им да ја одржуваат прецизноста на површината со текот на времето во средини со високо триење, намалувајќи го ризикот од гребење на нафора и правејќи ги идеални за ракување со висока прецизност. Овој манипулатор со керамика од алумина има висока отпорност. Неговите извонредни својства на електрична изолација можат ефикасно да ги спречат електростатските пречки и да го намалат ризикот од адсорпција на честички за да се одржи чиста површина на обландата. Понатаму, процесот на производство на полупроводници вклучува сложени кола и високонапонски средини во опремата. Алумина керамичкиот манипулатор со висока отпорност ефикасно ја блокира спроводливоста на струјата, обезбедувајќи електрична безбедност при ракување со полупроводнички нафора. Благодарение на високата температурна отпорност и топлинската стабилност на алумина керамиката, манипулаторот многу малку се деформира за време на процесот на термичка обработка со полупроводници, може точно да ги постави наполитанките и да избегне прецизно отстапување предизвикано од термичка деформација. Покрај тоа, овој материјал има одлична хемиска стабилност и е високо отпорен на корозија од киселини, алкалии, стопени метали итн. Не е лесно да се реагира со други супстанции за да се испуштаат загадувачки честички и може ефикасно да ги заштити полупроводничките делови од хемиска контаминација.