Алумина керамичките вакуумски чаки се функционални компоненти за адсорпција, кои се специјално дизајнирани за стегање и фиксирање на полупроводничките наполитанки. Направени од алумина керамика со високи перформанси, тие даваат неколку одлични карактеристики, како што се извонредна механичка сила, исклучителна електрична изолација и супериорна плошност на површината.
Алумина керамички вакуум чашивообичаено се поставуваат во јадрото на зоната за обработка на полупроводничка опрема, одговорна за поддршка и фиксирање на полупроводничките наполитанки. Тие се поврзани со вакуумските пумпи и можат цврсто да ги адсорбираат полупроводничките наполитанки на површината на алумина керамичките вакуумски пумпи со користење на принципот на вакуумска адсорпција. Во реалната работа, вакуумските пумпи извлекуваат воздух помеѓу обландата и чак, создавајќи вакуумско опкружување кое цврсто ја држи нафората во позиција. Ова обезбедува стабилно позиционирање на обландата за време на обработката и ефикасно ги намалува грешките при обработката предизвикани од поместување на обландата.
За да се генерира доволна сила на адсорпција за фиксирање на полупроводничката обланда, алумина керамичката вакуумска чак треба цврсто да се залепи на површината на обландата. Бидејќи недоволната сила на адсорпција ќе резултира со неуспех да се одржи вакуумската состојба, а со тоа ќе предизвика откачување или поместување на нафората. Ова поставува строги барања за плошноста на површината на алумина керамичките вакуумски чаши за да се избегнат вакви проблеми на изворот. Нивната површина мора да биде прецизно механички полирана за да се постигне потребната плошност за да се обезбеди очекуваниот ефект на адсорпција.
Од оперативна перспектива, алумина керамичките вакуумски чаши на Semicorex се клучни компоненти за постигнување на автоматизација на современото производство на полупроводници. Тие можат да го олеснат непречениот напредок на автоматизацијата, овозможувајќи точно подигање, поставување, порамнување и обработка на наполитанките. Добро дизајнираната структура и изгледот на алумина-керамичките вакуумски куки овозможуваат брз премин на воздухот, со што се постигнува ефикасна вакумска адсорпција и ослободување и се спречува деформација или оштетување на површината на обландата предизвикана од несоодветната сила на адсорпција. Покрај тоа, Semicorex користи лесна тежинакерамика од алуминиумза да се намали вкупната тежина на алумина керамичките вакуум чакови. Овој избор на материјал го олеснува инсталирањето и работењето на опремата, со што значително ја подобрува оперативната ефикасност.
Со толку многу извонредни перформанси, алумина керамичките вакуум чаши на Semicorex се широко користени во индустријата за производство на полупроводници, како што се разредување, сечење на коцки, мелење, полирање, фотолитографија, офорт и други процеси за да се подобри прецизноста и приносот на обработката.