Semicorex Alumina End Effector се појави како неопходна алатка во бараното царство на производството на полупроводници, каде што дури и микроскопските несовршености можат да ја загрозат работата на уредот, а улогата на прецизното ракување со нафора не може да се прецени. Alumina End Effector обезбедува уникатна комбинација на прецизност, чистота и издржливост од суштинско значење за манипулирање со деликатните силиконски наполитанки низ различни процеси на производство.**
Изборот на материјалот за Semicorex Alumina End Effector е поттикнат од уникатната соодветност на алумина керамика со висока чистота за суровите средини што се среќаваат при производството на полупроводници:
Исклучителна чистота за контрола на контаминација: Крајниот ефектор на Алумина, кој содржи алумина керамика со висока чистота како подлога, се карактеризира со нивните екстремно ниски нивоа на нечистотии, што гарантира дека нема да внесе загадувачи што би можеле да ги загрозат електричните својства или перформансите на чувствителните полупроводнички уреди.
Стабилност на висока температура за разновидност на процесот:Alumina End Effector покажува одлична термичка стабилност, одржувајќи го својот структурен интегритет и димензионална точност дури и при покачени температури што се среќаваат во процеси како термичка оксидација, дифузија и хемиско таложење на пареа.
Хемиска инертност за суровата средина:Вродената хемиска отпорност на Alumina End Effector го прави непропустлив за широк опсег на киселини, бази и растворувачи кои вообичаено се користат во полупроводничка обработка. Оваа инертност спречува корозија или деградација на крајниот ефектор, обезбедувајќи ги неговите долгорочни перформанси и минимизирајќи го ризикот од контаминација со честички.
Цврсти механички својства за продолжен работен век:Алумина керамиката е позната по својата цврстина, отпорност на абење и способност да издржи повторени циклуси на ракување и чистење без деградација. Оваа робусност значи продолжен работен век на Alumina End Effector, намалувајќи ги трошоците за замена и времето на застој.
Прецизноста, чистотата и издржливоста на Alumina End Effector го направија суштинска компонента во низа критични процеси на производство на полупроводници:
Фотолитографија:Прецизното порамнување и поставување на нафора се најважни во фотолитографијата, каде што дури и мали отстапувања може да доведат до грешки во неусогласеноста и дефект на уредот. Алумина крајниот ефектор ја обезбедува потребната точност и стабилност за овој критичен процес на чекор.
Хемиска механичка планаризација (CMP):Способноста да се издржат хемиски агресивните кашеста маса и механичките сили вклучени во CMP го прави Alumina End Effector идеален за ракување со наполитанки за време на овој критичен процес, што ја рамнира површината на обландата за последователно раслојување.
Инспекција и метрологија на нафора:Незагадувачкиот и нештетен карактер на Alumina End Effector го прави идеален за ракување со наполитанки за време на инспекциските и метролошките процеси, обезбедувајќи точни мерења и минимизирање на ризикот од воведување дефекти.