Алуминиумски монтирани основни плочи

Под-базните плочи за монтирање на алуминиум Semicorex се керамички производи со висока чистота дизајнирани како трајни и стабилни основи за монтажни работи за работа во опрема за измислување полупроводници. Овие плочи обезбедуваат критична механичка поддршка и усогласување за операциите за обработка на нафта, како што се литографија, гравирање, таложење и инспекција. Од суштинско значење е точно да се усогласи работата Чак со другите компоненти на системот за да се обезбеди дека обработката на нафта може да се случи со потребната верност. Плочите се произведуваат преку техники за обработка специфични за керамиката за да се постигне потребната рамчина, издржливост на висока температура и долгорочна сигурност за да се исполнат грубите барања на модерната измислица на полупроводници и во околината на процесите и во просторијата за чистење.

Подложни плочи за монтирање на алуминиум Semicorex се направени од висока чистотаалуминаима ниво на чистота ≧ 99,5% (типично). Алумина со висока чистота има добри механички и термички својства, како и цврстина. Алумина со висока чистота има одлични својствени електрични изолациони својства кои исто така овозможуваат овие плочи да се користат во вакуум и високо напонски апликации каде што електричното мешање може да биде проблем. Алумина ќе биде отпорна на термички велосипедизам, што им овозможува на плочите да одржуваат подобра димензионална точност од повеќето материјали и е корисно за одржување на усогласување или структурна стабилност како резултат на намалена термичка експанзија. Овој фактор е важен за да се обезбеди повторливост на Чак и имплицитни толеранции на процеси, додека работи преку проширени циклуси на производство.

Во системите за обработка на полупроводници, основната плоча за монтирање не е само уред за механичко прицврстување. Тој е медиум на термички контакт помеѓу Чак и остатокот од опремата и е клучен за термичка дисипација, структурен интегритет и изолација на вибрации. Активностите за обработка, како што се (но не ограничувајќи се на) CVD, PVD или јонска имплантација, каде што се вообичаени високи температури и вакуумски притисоци, бараат монтажната основа да биде термички отпорна, хемиски инертен и отпорна, механички звук и отпорен на термички шок. Хемиската инертност е од витално значење затоа што монтирањето мора да биде компатибилна со реактивни гасови, како и со чистење на хемикалии, што го проширува корисното време на монтирањето и спречува загадување.

Секоја основна плоча за монтирање на алумина направена од Semicorex е машинска за толеранции што ги бараат ОЕМ на полупроводници и интегратори на опрема. Плочите се машински за тесни толеранции за дебелина, варијација на висината и рамка за да се обезбеди максимална стабилност и повторливост. Овие плочи за монтирање можат да се направат со дупки за монтирање, слотови или бројачи на спецификациите на клиентите за подобро да се сместат работните чакови, механичките фази или друга опрема. Алуминиумската керамика се обработува со употреба на современи техники за мелење и прецизно мелење за да се оптимизира униформата микроструктура и квалитетот на површината за да се обезбеди постојан термички контакт и усогласување за употреба со текот на времето.

Полните плочи за монтирање на алуминиум Semicorex се користат во најразлични апликации, вклучувајќи ракувачи на нафта, роботски системи за трансфер, вакуумски склопови на чак и фази на метрологија. Оваа сигурност и издржливост во најразлични ситуации на барани процеси, ги прави производ на избор со производители на алатки кои бараат робусни, долготрајни, ниско одржување керамички компоненти. Нашите партнери за инженерска група со клиенти да обезбедат уникатни решенија што се наведени за секоја плоча за да ја зголеми ефикасноста за производство во полупроводник.

Основните плочи за монтирање на алумина се повеќе од само механичка поддршка; Тоа е клучна компонента во прецизно инженерство во индустријата за полупроводници. Со одлична механичка стабилност, чистота и конфигурирање, тие обезбедуваат точна усогласување, долг живот и зависна работа во широк спектар на алатки за процеси. За основните плочи со високи перформанси, исполнување на високите очекувања на денешните производители на полупроводници, доверба во Semicorex.