Керамички електростатички чаши

Семикорекс керамичките електростатички чакови се прецизни компоненти за електростатска адсорпција изработени од керамика со високи перформанси на алуминиум и алуминиум нитрид, кои го користат принципот на електростатска адсорпција за стегање и фиксирање на наполитанки. Широко се користи во полињата за производство на полупроводници. Semicorex има напредна технологија, висококвалитетни материјали и економични производи. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш сигурен партнер за снабдување во Кина.

Испрати барање

Опис на производот

Керамички електростатички чашисе прецизни компоненти кои го користат електростатското поле генерирано помеѓу електродите и наполитанките за стегање и фиксирање на наполитанки. Тие се широко применети во полиња како што се полупроводници, дисплеи со рамни панели и оптика и се основни компоненти на опремата од високата класа, како што се PVD уредите, машините за офорт и јонските импланти.

Во споредба со традиционалните механички и вакуум клешти, керамичките електростатички чакчиња имаат многу предности во полето на производство на полупроводници. Оваа керамичка електростатска чак користи статички електрицитет за да ги израмни и рамномерно ги држи наполитанките на неговата површина. Оваа униформа адсорпциона сила може да го задржи адсорбираниот предмет релативно рамен, избегнувајќинафораискривување или деформација што може да биде предизвикана од традиционалните механички чаши иливакуум чашивакуум чаши

Некои керамички електростатички чаши имаат интегрирани функции за загревање, кои можат прецизно да ја контролираат температурата на обландата преку гас што дува назад или внатрешни електроди за греење, да се прилагодат на строгите температурни барања на различни процеси и да ја подобрат стабилноста на обработката.

За разлика од механичките млазници, керамичките електростатски клешти ги намалуваат механичките подвижни делови, го намалуваат влијанието на честичките загадувачи врз квалитетот на обландата, ефикасно ја штитат чистотата на површината на обландата и го подобруваат приносот на производот.

Керамичките електростатички чаши нудат широка компатибилност. Тие можат да сместат наполитанки со различни големини и материјали, вклучувајќи силициум, галиум арсенид и силициум карбид, задоволувајќи ги различните потреби за производство на полупроводници.

Тие можат да работат стабилно во средини со висок вакуум, како што се имплантација на јони и CVD, надминувајќи го ограничувањето на традиционалните вакуумски чакови што не можат да апсорбираат наполитанки во вакуумска средина и совршено ги исполнуваат барањата за процесот на имплантација на јони, хемиско таложење на пареа (CVD) и други процеси во производството на полупроводници.