CVD и CVI вакуумска печка

Semicorex е голем производител и снабдувач на производи обложени со силикон карбид во Кина. Ние обезбедуваме сопствени решенија за печки. Нашата вакуумска печка CVD и CVI има добра ценовна предност и покрива многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер.

Испрати барање

Опис на производот

Semicorex CVD и CVI Vacuum Furnace е висококвалитетна алатка дизајнирана за процеси на хемиско таложење на пареа (CVD). Температурите на реакцијата до 2200°C. Тој е способен да депонира широк спектар на материјали, вклучувајќи силициум карбид, бор нитрид, графен и многу повеќе. CVD печката има робустен дизајн и е изработена од висококвалитетни материјали, обезбедувајќи сигурност и издржливост за долготрајна употреба. Има и хоризонтални и вертикални структури.

Апликација:C/C композитен диск за сопирање, сад, мувла и сл.

Карактеристики на Semicorex CVD и CVI вакуумска печка

1.Робусен дизајн изработен од висококвалитетни материјали за долготрајна употреба;

2. Прецизно контролирана испорака на гас преку употреба на контролери за масовен проток и висококвалитетни вентили;

3.Опремен со безбедносни карактеристики како што се заштита од прекумерна температура и откривање на истекување на гас за безбедно и сигурно работење;

4. Користење на повеќе зони за контрола на температурата, голема температурна униформност;

5. Специјално дизајнирана комора за таложење со добар ефект на запечатување и одлични перформанси против контаминација;

6. Користење на повеќе канали за таложење со рамномерен проток на гас, без мртви агли и совршена површина на таложење;

7. Има третман за катран, цврста прашина и органски гасови за време на процесот на таложење

Факултативни карактеристики:

• Врата на печката: завртка/хидраулична/рачна височина; отвор за нишање/паралелен отвор (големи димензии

врата на печката); рачно затегнато/ автоматско заклучување-прстен цврсто

• Сад за печка: целосно јаглероден челик/внатрешен слој не'рѓосувачки челик/целосно не'рѓосувачки челик

•Жешка зона на печка: мек јаглероден филц/мек графитен филц/цврст композитен филц/CFC

•Грејач и пригушувач: графит со изостатска преса/графит со висока чистота, јачина и густина/графит со ситна големина

• Систем за процесен гас: мерач на проток на волумен/маса

• Термоспој: K тип/N тип/C тип/тип S

Спецификации на CVD печка
Модел	Големина на работната зона (Ш × В × Д) mm	Макс. Температура (°C)	Температура Униформност (°C)	Краен вакуум (Pa)	Стапка на зголемување на притисокот (Pa/h)
LFH-6900-C	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-C	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-C	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-C	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-C	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-C	φ300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-C	φ600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-C	φ800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-C	φ1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-C	φ2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

* Горенаведените параметри може да се прилагодат на барањата на процесот, тие не се како стандард за прифаќање, спецификации за детали. ќе биде наведено во техничкиот предлог и договорите.