CVD SiC обложена графитна глава за туширање

Во плазма апарат за офорт и хемиско таложење на пареа (CVD) на материјали на наполитанки, процесните гасови се доставуваат во процесната комора преку графитна туш-глава обложена со CVD SiC. Semicorex е посветена на обезбедување квалитетни производи по конкурентни цени, со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер во Кина.

Испрати барање

Опис на производот

Графитната глава за туширање обложена Semicorex CVD SiC (Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) е специјализирана компонента која се користи во различни индустриски процеси, како што се хемиско таложење на пареа (CVD) и хемиско таложење на пареа засилено со плазма (PECVD). Тој игра клучна улога во испораката на прекурсорни гасови или реактивни видови на површината на подлогата за време на овие процеси на таложење.

Графитната глава за туширање обложена со CVD SiC е изработена од графит со висока чистота и обложена со тенок слој SiC со CVD метод. Графитната глава за туширање обложена со CVD SiC ги комбинира корисните својства на графитот и SiC, што ја прави суштинска компонента во различни процеси на таложење каде што е потребна прецизна и униформа дистрибуција на гасот, заедно со отпорност на високи температури и хемиски средини.

Карактеристики:

Хемиска отпорност

Термичка стабилност

Мазна и униформа површина

Намалена контаминација