Електростатски чак

Користејќи алумина керамика со висока чистота, електростатскиот чак Semicorex обезбедува врвни перформанси во поставки кои даваат приоритет на прецизноста, стабилноста и чистотата. Алумината, позната и како алуминиум оксид (Al2O3), е керамички материјал познат по своите исклучителни електрични изолациски својства, висока топлинска спроводливост и извонредна механичка сила. Овие својства го прават идеален материјал за конструирање на електростатско чак, дизајниран да ги издржи тешките услови на полупроводничка обработка. Алумина керамичката ESC е дизајнирана да издржи високи температури, корозивни средини и механички стрес за време на ракување и обработка на нафора, играјќи клучна улога во обезбедувањето на приносот и квалитетот на полупроводничките уреди.

Основниот принцип зад Електростатскиот чак е електростатската сила, која се користи за безбедно држење на нафората на место. Оваа сила се генерира со примена на напон на електродите вградени во керамичкиот материјал. Интеракцијата помеѓу електростатското поле и индуцираните полнежи на површината на обландата создава силна сила на стегање што ја држи нафората на површината на чакот. Дизајнот на алумина керамичката ESC гарантира дека оваа сила на стегање е рамномерно распоредена низ обландата, минимизирајќи го ризикот од лизгање или оштетување за време на обработката.

Една од клучните предности на употребата на алуминиумска керамика во конструкцијата на електростатско чак се нејзините исклучителни електрични изолациски својства. Високата диелектрична јачина на Алумина овозможува примена на високи напони без ризик од електричен дефект, што е клучно за одржување на интегритетот на електростатското поле. Ова е особено важно во процеси како што се офорт на плазма или хемиско таложење на пареа, каде што нафората е изложена на високо реактивни средини и секоја варијација во силата на стегање може да резултира со дефекти или оштетување на обландата.

Покрај неговите електрични својства, керамиката од алуминиум покажува одлична топлинска спроводливост, од суштинско значење за управување со топлината што се создава при полупроводничка обработка. Способноста на електростатскиот чак ефикасно да ја исфрла топлината помага да се одржи стабилна температура низ обландата, намалувајќи ги топлинските градиенти што може да доведат до искривување или други форми на термички стрес. Оваа термичка стабилност е од клучно значење за обезбедување на прецизност и повторливост на процесите како што е фотолитографијата, каде што дури и малите температурни отстапувања можат да влијаат на исходот.