ESC Чак

Semicorex ESC Chuck користи електростатички сили за да одржува прецизна контрола врз положбата на нафората, обезбедувајќи висока прецизност и повторливост во производствените средини на полупроводници. Дизајнот на ESC чак, заедно со неговиот робустен избор на материјали и приспособливи димензии, го прави разноврсна и суштинска алатка во процесите како што се офорт, таложење и имплантација на јони.

ESC чак работи со примена на високонапонско електростатско поле помеѓу електродите на чакот и обландата, создавајќи привлечна сила што ја држи нафората на место. Нафората, обично направена од силициум или силициум карбид, е обезбедена со оваа сила, што овозможува прецизни операции во средини со висок вакуум. Овој систем ја елиминира потребата од механичко стегање или вакуумско чукање, што може да внесе загадувачи или да ја изобличи обландата. Со користење на ESC чак, производителите можат да постигнат почиста, постабилна средина за деликатни процеси на изработка, што доведува до повисоки приноси и поконзистентни резултати.

Една од клучните предности на технологијата ESC е нејзината способност да одржува цврсто држење на нафората додека рамномерно ја дистрибуира силата низ неговата површина. Ова осигурува дека нафората останува рамна и стабилна, што е од клучно значење за постигнување рамномерно офорт или таложење, особено во процесите каде што е потребна прецизност на подмикрона. Приспособливите димензии на чакот ESC му овозможуваат да смести наполитанки со различни големини, од стандардни наполитанки од 200 mm и 300 mm до специјализирани, нестандардни големини што се користат во истражување и развој или во производството на ниши полупроводнички уреди.

Материјалите што се користат во конструкцијата на чакот ESC се внимателно избрани за да се обезбеди компатибилност со суровите средини што обично се среќаваат во полупроводничката обработка. Алумина од керамика со висока чистота се користи поради нивните одлични електрични изолациски својства, термичка стабилност и отпорност на корозија на плазмата. Овие својства овозможуваат чак да функционира ефикасно и во услови на висока температура и во услови на висок вакуум, обезбедувајќи ја издржливоста и доверливоста потребни за долготрајна употреба во чиста просторија.

Прилагодувањето е уште една значајна придобивка на ESC чаковите. Во зависност од специфичните барања на процесот на производство на полупроводници, димензиите на чакот, конфигурациите на електродите и составот на материјалот може да се приспособат за да ги задоволат уникатните потреби на опремата и обландите што се обработуваат. Без разлика дали апликацијата вклучува плазма офорт, хемиско таложење на пареа (CVD) или физичко таложење на пареа (PVD), чакот ESC може да се конструира за да ги оптимизира перформансите и да го одржува интегритетот на обландата за време на обработката.