Споен кварцен пиедестал

Во производството на полупроводници, фузиран кварцен пиедестал служи како потпорна структура за кварцниот брод, кој ги држи наполитанките. Со одржување на константна температура, помага да се постигне рамномерно таложење на тенок слој, критичен фактор за перформансите и доверливоста на полупроводничките уреди. Постаментот обезбедува рамномерна дистрибуција на топлина и светлина во комората за процесирање, а со тоа го подобрува севкупниот квалитет на процесот на таложење.

Предности на сплотениот кварцен материјал

1. Отпорност на висока температура

Споениот кварцен пиедестал може да се пофали со точка на омекнување од приближно 1730°C, што му овозможува да издржи долготрајна употреба на температури кои се движат од 1100°C до 1250°C. Покрај тоа, може да издржи краткорочна изложеност на температури до 1450°C.

2.Отпорност на корозија

Споениот кварцен пиедестал е хемиски инертен за повеќето киселини, со исклучок на флуороводородна киселина. Неговата отпорност на киселина ја надминува онаа на керамиката за 30 пати и не'рѓосувачкиот челик за 150 пати. При покачени температури, ниту еден друг материјал не може да одговара на хемиската стабилност на фузиран кварц, што го прави идеален избор за сурови хемиски средини.

3. Термичка стабилност

Една од најистакнатите карактеристики на фузиран кварцен пиедестал е неговиот минимален коефициент на термичка експанзија. Ова својство му овозможува да издржи тешки температурни поместувања без да пука. На пример, може брзо да се загрее до 1100°C, а потоа да се потопи во вода на собна температура без да се оштети - суштинска карактеристика за производствените процеси под висок стрес.

Процес на производство

Процесот на производство за фузиран кварцен пиедестал е прецизно контролиран за да се обезбедат највисоки стандарди за квалитет. Постаментите се произведуваат преку процеси на термоформирање и заварување спроведени во средини во чиста просторија од класа 10.000 или повисока. Последователно чистење со ултрачиста вода (18 MΩ)дополнително ја обезбедува чистотата и перформансите на производот. Секој споен кварцен пиедестал е подложен на ригорозни прегледи, чистење и пакување во чиста просторија од класа 1.000 или повисока за да се задоволат строгите барања за производство на полупроводници.

Непроѕирен кварцен материјал со висока чистота

За ефикасно блокирање на топлината и светлината, Споениот кварцен пиедестал користи непроѕирен кварцен материјал со висока чистота. Уникатните својства на овој материјал ја подобруваат способноста на постаментот да одржува стабилна и униформа температура во комората за процесирање, со што се обезбедува постојан квалитет на таложење со тенок слој на наполитанки.

Широк опсег на апликации

Исклучителните својства на споениот кварцен пиедестал го прават погоден за различни апликации во индустријата за полупроводници. Во ALD процесите, тој поддржува прецизна контрола на растот на тенкиот филм на атомско ниво, суштинско за производство на напредни полупроводнички уреди. За време на процесите на LPCVD, термичката стабилност на постаментот и способностите за блокирање на светлината придонесуваат за еднообразно таложење на филмот, подобрувајќи ги перформансите и приносот на уредот.

Во процесите на дифузија, отпорноста на висока температура и хемиската инертност на сплотениот кварцен пиедестал обезбедува сигурен и конзистентен допинг на полупроводнички материјали. Овие процеси се клучни за дефинирање на електричните својства на полупроводничките уреди, а употребата на висококвалитетни материјали како фузиран кварц е од суштинско значење за постигнување оптимални резултати.