Се чувствува стаклена јаглеродна обвивка

Стаклена јаглерод јаглеродна облога на Semicorex делува како внатрешен изолационен слој во силиконски карбид епитаксични реактори. Тоа е изолационен материјал со високи перформанси дизајниран за напредни термички средини. Овој производ ги надминува типичните предизвици за производство на висока температура на полупроводници со понуда на супериорни решенија заради неговите лесни и одлични својства на термичка изолација наГрафит се чувствуваше, заедно со површинскиот интегритет и хемиската инертност, пренесена од стаклена обвивка од јаглерод.

Основниот материјал е голема чистотаГрафит се чувствувашеИзбра за својата ниска термичка спроводливост стабилност на висока температура и мала тежина. Нормалниот графит што се чувствува обично има пролевање на површински влакна и генерирање честички на покачени температури што можат да ја загадат процетната околина во чувствителни епитаксични системи. За да се ублажи овој проблем, површината на графитот се чувствува е подеднакво обложена со слој стаклен јаглерод-густа, не-порозна форма на јаглерод позната по својата хемиска инертност, ниска пропустливост на гас и исклучителна термичка стабилност.

Стаклениот јаглерод е не-графитизиран јаглерод кој ги комбинира својствата на стаклото и керамиката. За разлика од кристалниот графит, тој е аморфен, скоро 100% SP2 хибридизиран јаглероден материјал, кој е формиран со високо-температура на томнење на полимеризирани органски прекурсори, како што се фенолна смола, смола од алкохол, итн., Во атмосфера на инертен гас. Бидејќи е црна во текот на целата и има мазна површина слична на стаклото, се нарекува стаклен јаглерод.

Стаклената обвивка од јаглерод може да ја елиминира генерирањето честички на печката, да обезбеди запечатени пори на површината, да има одлични својства на деколации и да ја намали пропустливоста, со што овој материјал е многу погоден за континуирани калапи за кастинг и производи во индустријата за полупроводници. Овој материјал има широк спектар на апликации во индустријата за полупроводници, особено во делови од графит, како што се компоненти на опрема за влечење единечен кристал силикон, компоненти на епитаксијален раст, континуирани калапи за леење, свирки за запечатување на стакло, итн.

Стаклениот јаглерод има отпорност на висока температура до 3000 ° C во инертен гас или вакуум, и за разлика од сите други керамички и метални материјали со висока температура, јачината на стаклениот јаглерод се зголемува со зголемена температура до 2700К, и не станува кршлива и има екстремно висока термичка отпорност на шок, така што кратко време на загревање и време на ладење не е проблем. Покрај тоа, стаклениот јаглерод има ниска маса, ниска апсорпција на топлина и ниска термичка експанзија, така што е погоден за скоро сите апликации со висока температура.

Стаклената јаглеродна обвивка игра клучна улога во запечатувањето на површинските пори на графитот, што значително го намалува ослободувањето на честички и јаглеродната прашина за време на работата. Ова е особено клучно во процесите на раст на епитаксијалниот раст, каде што дури и минималното загадување може да го загрози квалитетот на нафтата и перформансите на уредот. Со капсулирање на порозната структура на чувствуваната со мазна, тврда стаклена јаглеродна обвивка, облогата обезбедува чиста и стабилна термичка околина во рамките на комората на реакција.

Клучни предности на стаклениот јаглероден облога се чувствуваат:

Намалено пролевање на честички: Густата обвивка ефикасно се заклучува во лабави влакна и честички, спречувајќи загадување на нафорите и компонентите на реакторот.

Висока термичка стабилност: И графитот и стаклениот јаглерод можат да издржат температури над 2000 ° C во инертен или вакуум атмосфери, со што производот е идеален за високо-температурни процеси на SIC.

Хемиска инертност: Стаклената јаглеродна површина е отпорна на повеќето киселини и корозивни гасови, што го продолжува оперативниот живот на изолациониот слој под груби услови.

Подобрена конзистентност на процесите: минимизираната генерација на честички придонесува за постабилна и повторлива епитаксична околина за раст, што е од суштинско значење за производство на висококвалитетни SIC нафора.

Апликациите на стаклена јаглеродна обвивка се чувствуваат првенствено на SIC епитаксијални печки за раст, каде што се користи како термички изолационен слој во топла зона. Производот обично се инсталира како поставен материјал во горните или долните куќи за изолација, каде што обезбедува и термичка заштита и уверување на чистотата.