Графитни крпи

Крузите на графит на Semicorex се клучни компоненти во процесот на производство на полупроводници, особено за време на фазата на раст на кристалот. Овие контејнери со високи перформанси се дизајнирани да ги издржат екстремните услови потребни за производство на силиконски или соединенија на полупроводнички кристали преку методи како што се процесот Czochralski (CZ) или техниката на плови зона (FZ).

Главна функција на графитските крстови е да издржат и поддржуваат екстремно високи температури, обично над 2000 ° C, каде што често се синтетизираат полупроводнички материјали од трета генерација како што се силиконски карбид и галиум нитрид често се синтетизираат. Крцините направени од графит со висока чистота покажуваат одличен отпор на високи температури, одржувајќи ги нивните физички и хемиски состојби на такви екстремни нивоа без никаква форма на распаѓање или дури и метаморфоза. Добрата термичка спроводливост од графитни крцкања значи дека тие не само што ќе спроведат топлина рамномерно, туку и ќе постават стабилно поле за температура. Ова започнува да се игра клучно за време на процесите на топење и кристализација, бидејќи униформата дистрибуција на температурата ќе овозможи материјал за раст под повеќе или помалку еквивалентни услови, со што се намалуваат дефектите на кристалот и овозможуваат квалитетни кристали на полупроводници.

Во процесите на раст на кристалот на силиконски карбид или галиум нитрид (како што е фаза на пареа фаза на епитакси CVD или физички транспорт на пареа ПВТ), графитните крпи се користат за одржување на суровини и да обезбедат контролирана околина за раст. Хемиската инертност на садот гарантира дека не реагира хемиски со полупроводничкиот материјал на високи температури, а со тоа и ја одржува високата чистота на материјалот. Во исто време, добрата термичка спроводливост на графитниот сад помага да се формира униформа градиент на температура, обезбедувајќи идеални услови за раст на кристалот и намалување на нечистотиите и структурните дефекти.

Хемиската инертност на графитските крпи е клучна карактеристика во прочистувањето на полупроводничките материјали. Неговиот графит материјал со висока чистота може да изолира надворешно загадување и да спречи нечистотии да влезат во стопениот полупроводнички материјал. Површината на графитниот сад може да биде обложена (како што е облогата на силиконски карбид) за да се подобри неговата отпорност на оксидација и отпорност на корозија, што дополнително обезбедува висока чистота и висока стабилност на процесот на производство.