Графитна електрода

Графитната електрода Semicorex е графитна компонента со висока чистота, прецизно произведена за употреба во полупроводнички топлински апликации, каде што електричната спроводливост, топлинската стабилност и прецизноста на димензиите се најважни. Всушност, овој тип на електроди се користат во печки со висока температура, епитаксии реактори и комори за термичка обработка, што овозможува стабилно спроведување на струјата, пренос на топлина и стабилност при агресивни услови на температура и атмосфера. Поради екстремната чистота, униформноста на цврстата структура и високите механички својства на Semicorex графитните електроди, тие можат да обезбедат сигурни термички перформанси како грејни елементи во тешки полупроводнички апликации

Графитната елетрода е произведена од висококвалитетен ситнозрнест графитен материјал, секој од нив е направен со помош на напредна низа на истиснување, високотемпературна карбонизација и графитизација. Графитната микроструктура е дизајнирана за приближно константна електрична отпорност, висока топлинска спроводливост и механичка стабилност. Финалниот производ е топлински спроводник со висока чистота кој одржува физичка кондиција и рамномерна распределба на струјата во средини со висока моќност, како и брзи температурни флуктуации.

Ултра перформанси во нашатаграфит

Нашиот графит гарантира извонредна униформност на перформансите. Прво, за време на процесот на карбонизација, нашите печки имаат само 115 кубни метри. Нашиот технички тим го следи температурното поле на графитните производи во различни области на секоја печка. Во почетната фаза на ниска температура (0-200°C), ја контролираме температурата во рамките на ±10°C, а на високи температури (над 600°C), во рамките на ±1°C. Ние не само што го следиме температурното поле помеѓу различни графитни честички, туку и површинската и внатрешната температура на секое поединечно парче графит, контролирајќи го во рамките на ±3°C. Ние следиме 8 температурни точки во секоја печка за карбонизација.

Второ, за време на процесот на графитизација, земајќи за пример серија од 500 кг, следиме и 8 температурни точки. По графитизацијата, по случаен избор земаме примероци и деструктивно тестираме 24 точки долж оските X, Y и Z за да обезбедиме униформност. Повеќето компании во индустријата ја тестираат само X-оската, или најмногу XY-оската, при што типичните производители тестираат само 6-8 поени, а подобрите тестираат 12 поени. Ние тестираме 24 поени.

Во термалното поле на полупроводници, графитната електрода е критичен дел од грејниот склоп, насочувајќи ја електричната струја во грејната зона и овозможува контролирана дистрибуција на температурата низ одреден процес, како што се оксидација, дифузија, LPCVD или епитаксија. Графитната електрода мора да има сигурна оперативна улога на температури поголеми од 2000°C и да го прави тоа додека се спротивставува на оксидација, искривување или контаминирање на местото на греење.

Графитните електроди Semicorex имаат извонредна електрична спроводливост, што ја олеснува ефективната испорака на енергија со минимални загуби и тие поседуваат одлична топлинска спроводливост, овозможувајќи брз униформен пренос на топлина во печката. Комбинацијата на ниска термичка експанзија и висока механичка цврстина ги намалува деформациите и пукањето за време на термички циклус, давајќи стабилно однесување во текот на долгиот работен век. Секоја електрода е обработена со строги димензионални толеранции и фина завршна обработка на површината за да се обезбеди постојан контакт и незначителен електричен отпор на контактната површина.

Имајќи ги предвид специфичните барања на полупроводничките процеси, Semicorex може да дизајнира сопствени дизајни на електроди за да одговараат на секоја конфигурација на печката и спецификација за моќност. Може да бидат достапни различни дијаметри, должини, типови на врски или завршни површини. Кога е потребно, материјалите за обложување, како што се SiC или пиролитички јаглерод, може да се применат за да се поддржи отпорноста на оксидација и работниот век во средини со висока содржина на кислород или реактивен гас.

Високата чистота награфитен материјалслужи за обезбедување на неверојатно ниски нивоа на метални нечистотии (и гасовити нечистотии), често повеќе од 99,999% јаглерод. Ваквите ниски нивоа на нечистотии помагаат да се избегне загадување на полупроводничките наполитанки при термичка обработка. Во комбинација со значителната длабочина на обработка и полиран финиш на површината, графитните електроди Semicorex ги исполнуваат и механичката и хемиската стабилност на најсовремените технологии за производство на нафора.

Без разлика дали се користи во дифузни печки, епитаксијални реактори или опрема за обработка на висока температура, графитната електрода Semicorex обезбедува неспоредливи перформанси во најсложените топлински средини. Со комбинирање на висока чистота, прецизна геометрија и напредна обработка на материјали, Semicorex испорачува решение за електрода што обезбедува стабилна спроводливост на струјата, постојано загревање и долгорочна оперативна доверливост од суштинско значење за производството на полупроводници од следната генерација.