Графитен грејач за топла зона

Хомогена распределба на температурата:Графитниот грејач за топла зона е познат по своите униформни карактеристики на греење, постигнати преку комбинација на прецизна обработка на материјали и прецизна обработка. Оваа хомогеност обезбедува конзистентен температурен профил на целата грејна површина, минимизирајќи ги термичките градиенти што може да доведат до нерамномерна обработка на нафора, намален принос и неконзистентни перформанси на уредот.

Исклучителна отпорност на корозија:Графитниот грејач за топла зона покажува извонредна отпорност на различни корозивни гасови и хемикалии кои вообичаено се среќаваат при обработка на полупроводници на висока температура. Оваа вродена инертност обезбедува долгорочна стабилност и перформанси на грејачот, минимизирајќи ги ризиците од контаминација и продолжувајќи го работниот век.

Супериорна отпорност на оксидација:За разлика од обичниот графит, графитниот грејач за топла зона има супериорна отпорност на оксидација, дури и при покачени температури. Оваа карактеристика е клучна за одржување на интегритетот на грејачот и спречување на формирање на контаминација со честички во комората за обработка.

Ултра висока хемиска чистота:Графитниот грејач за топла зона се обработува за да се постигнат ултра високи нивоа на чистота, минимизирајќи го ризикот од внесување на несакани загадувачи во околината за обработка на полупроводници. Оваа исклучителна чистота е од суштинско значење за одржување на интегритетот на деликатните полупроводнички материјали и за обезбедување на саканите електрични и оптички својства на фабрикуваните уреди.

Висока механичка цврстина и стабилност:Графитниот грејач за топла зона поседува извонредна механичка сила и димензионална стабилност при покачени температури, што овозможува производство на робусни компоненти на грејачот способни да ги издржат строгостите при работа на високи температури, вклучувајќи термички циклус и механички стрес.