Графитни грејни елементи

Семикорекс графитните грејни елементи станаа суштински компоненти во производството на полупроводници, овозможувајќи прецизни и контролирани термички средини потребни за напредна обработка на нафора. Нивната единствена комбинација на својства на материјалот, флексибилноста на дизајнот и предностите во изведбата ги прави идеални за задоволување на строгите барања на производството на полупроводнички уреди од следната генерација. Ние во Semicorex сме посветени на производство и снабдување со графитни елементи за греење со високи перформанси кои го спојуваат квалитетот со економичноста.**

Испрати барање

Опис на производот

1. Прецизна контрола на температурата за подобрени резултати од процесот:

Семикорекс графитните грејни елементи, заедно со софистицираните системи за контрола на температурата, овозможуваат цврста регулација на температурата и брзо термичко рампање, овозможувајќи им на производителите фино да ги подесат параметрите на процесот и да постигнат оптимални резултати.

2. Исклучителна униформност и спроводливост на греење:

Графитните грејни елементи покажуваат исклучителна униформност во нивната грејна структура, обезбедувајќи рамномерна дистрибуција на топлина низ целата грејна површина. Ова ги елиминира жариштата и температурните градиенти што може да доведат до неконзистентна обработка на нафора, варијации во таложењето на филмот или дефекти во растот на кристалите. И нивната одлична топлинска спроводливост овозможува ефикасно создавање и пренос на топлина до целната подлога или процесната комора, оваа ефикасност ја минимизира потрошувачката на енергија, го намалува времето на обработка и придонесува за севкупни заштеди на трошоците.

3. Робустност под термички стрес:

Производството на полупроводници често вклучува брзи температурни промени и екстремен термички циклус. Графитните грејни елементи се дизајнирани да ги издржат овие тешки услови, одржувајќи го нивниот структурен интегритет дури и при значителен термички стрес. Оваа робусност обезбедува постојани перформанси и продолжен работен век, минимизирајќи го времето на застој и намалувајќи ги барањата за одржување.

4. Димензионална стабилност при високи температури:

Одржувањето прецизни димензии е критично за прецизно позиционирање на обландите и контрола на процесот. Нискиот коефициент на термичка експанзија на графитните грејни елементи обезбедува минимални димензионални промени дури и при покачени работни температури. Оваа димензионална стабилност гарантира постојани модели на греење, прецизна контрола на температурата и повторливи резултати од процесот.

5. Супериорна отпорност на оксидација:

Изложеноста на високи температури и оксидирачки средини може да ги влоши перформансите и животниот век на грејните елементи. Графитните грејни елементи покажуваат одлична отпорност на оксидација, формирајќи заштитен оксиден слој на покачени температури. Оваа природна бариера за пасивација спречува понатамошна оксидација и деградација, обезбедувајќи долгорочни перформанси и доверливост во тешките средини за обработка на полупроводници.

6. Инертни за обработка на хемикалии:

Производството на полупроводници користи широк спектар на реактивни гасови и хемикалии. Вродената хемиска инертност на графитните грејни елементи ги прави високо отпорни на корозија и деградација од овие сурови материи. Оваа компатибилност обезбедува нејзина долговечност и спречува контаминација на чувствителни наполитанки или процесни комори.

7. Прилагодени дизајни за специфични апликации:

Семикорекс графитните грејни елементи може прецизно да се обработат во сложени форми и конфигурации за да се задоволат специфичните барања на различни полупроводнички процеси. Оваа флексибилност на дизајнот овозможува оптимизирана дистрибуција на топлина, насочени грејни зони и интеграција во разновидна опрема за обработка, вклучувајќи системи за брзо термичко жарење, комори за таложење на хемиска пареа и дифузни печки.