Хоризонтални кварцни чамци со нафора

Хоризонтални кварцни чамци со нафоравообичаено држете ги полупроводничките наполитанки хоризонтално во цевките на печката на опремата за термичка обработка, загреани со надворешни уреди за греење. Тие се широко користени во процесите на термичка обработка со корозивни полупроводнички високи температури, како што се термичка оксидација, високотемпературна дифузија, жарење и хемиско таложење на пареа (CVD).

Функциите на хоризонталните кварцни нафора чамци Semicorex

1.Стабилно држење и обезбедување

Хоризонталните кварцни чамци со нафора Semicorex имаат одлична носивост и можат постојано да нудат стабилна поддршка за повеќе полупроводнички наполитанки. И нивниот оптимизиран надворешен дизајн и прецизна структура на слотот го обезбедуваат секоенафорае совршено наместен и цврсто прицврстен на хоризонталните кварцни чамци со обланда, што значително ги намалува гребаниците и судирите на обландите предизвикани од тресење, поместување и навалување за време на транспортните и производните процеси.

2. Помош за униформност на процесот

Структурата на слотот со еднакво растојание на хоризонталните кварцни чамци овозможува уредно поставување на полупроводнички наполитанки, со што се создава стабилно и мазно поле за проток на гас во печките со висока температура. Структурниот дизајн постигнува конзистентен контакт на гас и брзина на реакција на секоја површина на обланда, а со тоа ефикасно ги намалува различните дефекти предизвикани од нерамномерното загревање и диференцијалниот контакт на гасот, како што се нецелосната оксидација на нафората, нерамномерното таложење на тенок слој и отстапувањето на концентрацијата на допинг.

3.Долг работен век

Благодарение на супериорната висока температурна отпорност на кварцниот материјал, чамците со хоризонтални кварцни обланди Semicorex можат да издржат високи температури од 1100-1200℃ долго време без деформација или топење.Кварце хемиски инертен за гасовите кои вообичаено се користат во полупроводничките процеси, како што се кислородот, азот и водород хлоридот. Оваа исклучителна хемиска инертност може да го минимизира ризикот од корозија од процесните гасови, значително продолжувајќи го работниот век и намалувајќи го времето и трошоците за замена на опремата.