Внатрешна цевка за водич

Semicorex Inner Guide Tube е прецизно дизајниранајаглерод/јаглерод (C/C) компонентадизајниран за напредни апликации на термално поле на висока температура, особено во растот на силиконски кристали со висока чистота. Како критичен елемент во печките за раст на кристалите, оваа компонента игра централна улога во обликувањето и стабилизирањето на топлинскиот градиент, обезбедувајќи оптимално формирање на кристали и постојан квалитет на материјалот.

Произведена од јаглероден композит засилен со јаглеродни влакна со висока густина, Inner Guide Tube нуди исклучителен структурен интегритет и термичка стабилност при екстремни услови. Со густина од ≥1,35 g/cm³ и јакост на виткање од ≥110 MPa, ја одржува механичката робусност дури и при долготрајна изложеност на покачени температури. Овие својства се од суштинско значење во производството на силикон од полупроводник, каде што дури и малите флуктуации во термичките услови може значително да влијаат на униформноста на кристалите и стапките на дефекти.

Основна функционалност: прецизна контрола на градиент

Примарната улога на C/C внатрешната цевка за водич е да конструира прецизно поле за температура на градиент. За време на процесот на раст на силициумските кристали, тој се позиционира директно над топењето на:

Директен проток на гас: Го води протокот на инертен гас аргон, осигурувајќи дека пареите од силициум оксид (SiO) ефикасно се отстрануваат од топената површина, спречувајќи ја контаминацијата со кислород во кристалот.

Термичка заштита: го штити растечкиот кристал од директно топлинско зрачење од ѕидовите на садот, воспоставувајќи го стрмниот аксијален температурен градиент неопходен за високо-брзинско, висококвалитетно влечење на кристалите.

Енергетска ефикасност: Со концентрирање на топлина во зоната на топење и изолација на горните компоненти на печката, значително ја намалува вкупната потрошувачка на енергија.

Технички спецификации и извонредност на материјали

Нашите цевки за внатрешен водич се произведуваат со употреба на висока густинаЈаглерод/јаглерод композити, обезбедувајќи супериорна алтернатива на традиционалниот графит. Карактеристиките на материјалот се оптимизирани за екстремни услови на полупроводнички вакуумски печки:

Густина: ≥ 1,35 g/cm³

Јачина на свиткување: ≥ 110 MPa

Коефициент на термичка експанзија (CTE): ≤ 1,0 × 10-6 /K

Топлинска спроводливост (собна температура): ≤ 10 W/(m·K)

Индустрија

Како што индустријата се движи кон поголеми големини на нафора (300мм и 450мм), барањата на термалното поле се зголемуваат експоненцијално. Нашите цевки за внатрешни водичи се компатибилни со главните брендови на печки CZ и може да се приспособат во однос на геометријата и облогата.