Микропорозен керамички чак

Семикорекс микропорозна керамичка чак како клучна компонента во ракувањето со нафора во полупроводникот. Како јадро на микропорозната керамичка чак, дупките на микропорозната керамика обично се екстремно мали, порозноста треба да биде околу 30% ~ 50%. Дијаметарот на дупката е потребно да биде микро-ниво, дури и нано-ниво. Може да гарантира дека работното парче е цврсто прицврстено на вакум чак, да ги спречи лошите фактори со површинските гребнатини, вдлабнатини и слично, поради негативните притисоци. Во меѓувреме, кога се користи Алумина вакуум чак за време на процесот на фотолитографија на електронските компоненти, обично бара порознаАлумина керамикачашката да биде црна, за да се избегнат пречки предизвикани од залутаната светлина што се рефлектира од чак.

Бидејќи структурата наалуминавакуумските затворачи се релативно едноставни, трошоците за производство и одржување се ниски, а силата на адсорпција е исто така релативно лесна за прилагодување, нафората може да биде апсолутно стабилна и фиксирана за време на обработката со прилагодување на работната состојба на вакуумската пумпа или растојанието помеѓу чаковите. Меѓутоа, кога нафората се обработува во вакуум или средина со низок притисок како хемиско таложење на пареа, вакуумската чак се потпира на разликата во притисокот не може да работи, што ја ограничува неговата примена. Дополнително, кога нафората се апсорбира на површината на микропорозната керамичка чак, таа ќе се деформира поради притисокот на воздухот, а потоа обландата може да се отскокне по обработката, што ќе резултира со брановидна површина на површината на сечењето, намалена плошност на површината и влијание врз прецизноста на обработката. Така, микропорозната керамичка чак обично се користи за фиксирање или носење на некои рамни и добро запечатени компоненти, како што е металната плоча. И во полупроводничката обработка, нормално се применува во нискиот процес.

Микропорозните керамички чакови Semicorex се високопрецизни компоненти за држење на вакуум дизајнирани за апликации кои бараат униформа сила на стегање, одлична плошност и работа без контаминација. Развиени за производители на ОЕМ опрема и напредни производствени средини, керамичките чаши Semicorex обезбедуваат стабилна и повторлива фиксација на работните парчиња каде што механичкото стегање или конвенционалните дизајни на вакуум чак се недоволни.

Клучни карактеристики за изведба

Униформа вакуумска дистрибуција низ целата површина

За разлика од конвенционалните вакуумски затворачи кои се потпираат на дискретни отвори за вакуум, микропорозните керамички дупчиња Semicorex користат целосно меѓусебно поврзана микропорозна структура за рамномерно да го дистрибуираат вакуумот низ површината на чадот.

Овој дизајн обезбедува:

Еднообразна сила на задржување над целата контактна област

Намален локализиран стрес и деформација на работното парче

Подобрена стабилност за тенки, кршливи или флексибилни подлоги

Како резултат на тоа, овие чаши се особено погодни за силиконски наполитанки, стаклени панели, подлоги од сафир, керамика и композитни материјали.

Висока плошност и димензионална стабилност

Семикорекс микропорозните керамички чаки се произведуваат со прецизно синтерување и процеси на завршна обработка на површината за да се постигне висока плошност и долготрајна димензионална стабилност.

Типичната плошност може да се контролира во рамките на толеранции на ниво на микрони, во зависност од големината и примената

Ниската термичка експанзија ја минимизира деформацијата при температурни флуктуации

Ова обезбедува конзистентна точност на позиционирање при мелење, полирање, проверка и процеси поврзани со литографија.

Чиста работа без честички

Напредните керамички материјали се инхерентно неметални, немагнетни и отпорни на корозија, што ги прави микропорозните керамички чаши Semicorex погодни за чисти и чувствителни производствени средини.

Главните предности вклучуваат:

Без метална контаминација

Ниско генерирање на честички

Компатибилност со апликации за чиста соба

Овие својства ги прават идеални за производство на полупроводници, производство на оптички компоненти и прецизна обработка на електроника.

Материјални и структурни предности

Контролирана микропорозна керамичка структура

Големината на порите и порозноста на микропорозните керамички куки Semicorex се внимателно конструирани за да се балансираат стапката на проток на вакуум, силата на задржување и механичката сила.

Униформната распределба на порите поддржува стабилни перформанси на вакуум

Микропорозната структура го намалува ненадејното губење на притисокот за време на работата

Подобрена доверливост на држење во споредба со вакуумските дупнати дупчиња

Оваа структура обезбедува постојана изведба на чукање при континуирано работење.

Типични апликации

Микропорозните керамички чакови семикорекс широко се користат во:

Мелење и полирање на полупроводнички нафора

Обработка на стакло, сафир и керамичка подлога

Производство на оптички компоненти

Системи за прецизна обработка и метрологија

Нивните стабилни и повторливи перформанси ги прават добро прилагодени за автоматизирани производствени линии со висока прецизност.

ЧПП – Микропорозен керамички чак Semicorex

Која е главната предност на микропорозната керамичка чак?

Обезбедува униформа сила на задржување на вакуум низ целата површина, минимизирајќи ја деформацијата и подобрувајќи ја стабилноста на процесот.

Дали се погодни керамичките чаши Semicorex за тенки наполитанки?

Да. Тие се особено ефикасни за тенки, кршливи или флексибилни работни парчиња кои бараат рамномерна распределба на притисокот.

Може ли Semicorex микропорозните керамички чаши да се прилагодат за OEM опрема?

Да. Димензиите, порозноста и спецификациите на површината може да се прилагодат за апликации специфични за OEM.

Како се одржуваат микропорозните керамички чаши?

Обично е доволно рутинско чистење. Керамичката структура е отпорна на абење, корозија и хемиска деградација.