Дома > Вести > Вести од индустријата

Полупроводнички туширани глави

2025-05-13

НаПлоча за дистрибуција на гас, честопати се нарекува „туш“, може да личи на конвенционална туш, но нејзината цена може да достигне во стотици илјади, значително повисоки од типичниот туш за бања.


Површината на плочката за дистрибуција на гас има стотици или дури илјадници ситни, прецизно наредени дупки, наликувајќи на ситно ткаена нервна мрежа. Овој дизајн овозможува точна контрола на аглите на проток на гас и инјектирање, осигурувајќи дека секој дел од областа за преработка на нафта е рамномерно „искапен“ во процесниот гас. Ова не само што ја подобрува ефикасноста на производството, туку и го подобрува квалитетот на производот.


Плочата за дистрибуција на гас е составен дел од клучните процеси како што се чистење, гравирање и таложење. Директно влијае на точноста на процесите на полупроводници и квалитетот на финалните производи, што го прави клучна компонента во различни апликации за дистрибуција на гас.

За време на процесот на реакција на нафта, површината натуше густо покриено со микропори (отвор 0,2-6 мм). Преку прецизно дизајнираната структура на каналот и патеката за гас, специјалниот процес на гас треба да помине низ илјадници мали дупки на униформната гасна плоча и потоа да биде рамномерно депониран на површината на нафтата. Филмскиот слој во различни области на нафтата треба да обезбеди висока униформност и конзистентност. Затоа, покрај екстремно високите барања за чистота и отпорност на корозија, плочата за дистрибуција на гас има строги барања за конзистентноста на решетката на малите дупки на плочата за дистрибуција на гас и закопките на внатрешниот wallид на малите дупки. Ако толеранцијата на големината на отворот и стандардното отстапување на конзистентност се премногу големи или има закопчиња на кој било внатрешен wallид, дебелината на депонираниот филмски слој ќе биде различна, што директно ќе влијае на приносот на процесот на опремата.


Материјалот на плочата за дистрибуција на гас понекогаш е кршлив материјал (како што се единечен кристален силикон, кварцно стакло, керамика), што е лесно да се пробие под дејството на надворешната сила. Исто така, таа е ултра длабока дупка во рок од 50 пати од дијаметарот на микропор, а ситуацијата со сечење не може директно да се забележи. Покрај тоа, топлината за сечење не е лесна за пренесување и отстранувањето на чипот е тешко, а битот за вежбање лесно се крши поради блокада на чипови. Затоа, неговата обработка и подготовка е многу тешка.


Покрај тоа, во процесите со помош на плазма (како што се PECVD и суво гравирање), главата за туширање, како дел од електродата, исто така треба да генерира униформа електрично поле преку напојување со RF за да промовира униформа дистрибуција на плазмата, а со тоа подобрување на униформноста на гравирање или таложење.


Бидејќи гасовите што се користат во процесот на производство на полупроводници може да бидат висок температура, висок притисок или корозивна, тушот обично се прави од материјали отпорни на корозија. Во реалното производство, заради различни сценарија за употреба и вистинска потребна прецизност, плочата за дистрибуција на гас може да се подели во следниве две категории според неговиот материјален состав:

(1) Плоча за дистрибуција на метален гас

Материјалите на плочите за дистрибуција на метален гас вклучуваат алуминиумска легура, не'рѓосувачки челик и никел метал, меѓу кои најчесто користениот материјал за дистрибуција на метални гас е алуминиумска легура, затоа што има добра термичка спроводливост и силна отпорност на корозија. Тој е широко достапен и лесен за обработка.

(2) неметална плоча за дистрибуција на гас

Материјалите на неметалните плочи за дистрибуција на гас вклучуваат единечен кристален силикон, кварцно стакло и керамички материјали. Меѓу нив, најчесто користените керамички материјали се CVD-Sic, алуминиумска керамика, силиконска нитрид керамика, итн.





Semicorex нуди висококвалитетноCVD SIC туширани главиВо индустријата за полупроводници. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.


Контакт Телефон # +86-13567891907

Е -пошта: sales@semicorex.com



X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept