Спроводливи обложени грејачи на графит

Наспроводлив обложен грејач на графите нов производ дизајниран за обработка на полупроводници со висока температура и други вакуумски термички системи. Користете добра термичка стабилност на графит со висока чистота и одлични карактеристики на површината на облогата на силиконски карбид (SIC). Проводниот обложен грејач на графит е дополнително диференциран со неговиот слој со азот-допиран SIC, кој нуди значително подобрена спроводливост на површината, што го прави особено добро прилагодено за апликациите на кои им е потребна контролирана, па дури и загревање со одлични електрични перформанси.

Грејачот е конструиран со графитска подлога со висока јачина, која делува како основен структурен и термички спроводник. Графитот беше избран, конкретно со оглед на високите нивоа на топлинска спроводливост, низок коефициент на термичка експанзија и еластичност на термички шок. Овие карактеристики го прават графитот соодветен основен материјал во апликациите за процеси на висока температура, каде што може да има брзи циклуси на греење и ладење. Како и да е, самиот беспрекорен графит е хемиски реактивен во одредени атмосфери и може да доживее оштетување на површината или деградација, емисија на честички или превоз за време на продолжена употреба, особено во околини за чистење простории.

За надминување на овие ограничувања, графитниот дел е обложена со густ, висока чистота SIC слој. СИЦ облогата служи на повеќе функции: обезбедува ниво на заштита од оксидација и хемиска корозија, обезбедува многу тврда, отпорна на абење, и обезбедува компатибилност со вакуум и чистење стандарди. SIC има репутација за екстремна цврстина, висока топлинска спроводливост и хемиска инерција; Поради оваа причина, тоа е одличен материјал за обложување за термички компоненти со високи перформанси.

Единствената иновација на овој производ е азотниот допинг на облогата на SIC. За време на процесот на таложење на хемиската пареа (CVD), атомите на азот се вградени во решетките SIC, произведуваат слободни носачи, што може драматично да ја намали неговата отпорност на површината, и затоа да создаде спроводлив површински слој и овозможува струјата да помине директно, наместо да користи пристапна точка, преку SIC облогата, со што ќе се овозможи целата компонента на графитот да дејствува како отпорен елемент за загревање.

КласиченSic облогисе изолативни, што навистина ги ограничува во обемот на активни електрични апликации. Спротивно на тоа, азотниот слој на SIC на грејачот има екстремно ниска отпорност на површината, додека сè уште ги одржува сите механички и хемиски придобивки од класичниот SIC. Проводниот слој обезбедува многу добра струја униформност и ја минимизира загубата на електрична енергија додека ја подобрува термичката дистрибуција на површината на грејачот. Особено е идеално за прецизни апликации за греење под услови што често се поврзани со епитаксијални реактори, печки за дифузија и опрема за брза термичка обработка (RTP).

Геометријата на грејачот, обично спирална или серпентина како што е прикажано на сликата, е дизајнирана и оптимизирана со намера за производство на униформа термичка излезна енергија и униформа електрично оптеретување. Со интегриран дизајн на графит и спроводлива SIC облога, електричните контакти можат да се направат директно на обложената површина што ја елиминира потребата за дополнителни електроди или метална врска. Ова ги намалува ризиците од загадување и резултира во поедноставно склопување. Како резултат на тоа, целокупната ефикасност е подобрена.

Клучни придобивки од спроводливостаГрејач на графит-обложена со SICВклучи:

Одлична електрична спроводливост како резултат на допингот на азот, овозможувајќи директен проток на струја и ефикасно отпорно греење.

Супериорна термичка униформност со прецизна контрола на температурата над целата површина.

Висока хемиска отпорност, особено во корозивни средини како што се водород, амонијак или атмосфери богати со халоген.

Минимална генерирање на честички, исполнувајќи ги строгите барања за чистота на изработка на полупроводници.

Продолжен животен век, заради механичка издржливост и отпорност на термички шок и на графитското јадро и на SIC облогата.

Апликациите за овој грејач се протегаат во голем број на напредни технолошки индустрии. Грејачот ќе најде место во процесите на производство на полупроводници, како што се таложење на хемиска пареа (CVD), епитаксија на молекуларен зрак (MBE) и нафта за полнење, каде што прецизната контрола на температурата и чистотата на материјалите се клучни. Грејачот на графит-обложениот SIC може да се користи и во фотоволтаичното производство, топење на напредната керамика и во други термички процеси каде што се потребни повисоки перформанси, издржливост и стабилни грејачи.

Накратко, спроводниот грејач на графит-обложена со SIC е импресивен напредок во развојот на термичките компоненти. Со користење на облога со азот-сок SIC, развивме ефикасен термички производ, кој успешно ја комбинира хемиската стабилност на облогата на SIC со електрична спроводливост. Така, производство на термички процес кој е поефикасен, почист и посигурен за најсложените индустриски апликации. Полупроводниците и индустријата за материјали се соочуваат со континуирана промена и хибридни материјали од ваков вид ќе станат сè поважни за овозможување на идните понапредни технологии за производство.

Semicorex нуди висококвалитетноГрафитски грејачи со облогапроизводи. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контакт Телефон # +86-13567891907

Е -пошта: sales@semicorex.com