Силиконски карбид нафтен брод

Зад секој процес на висока температура во производството на нафта лежи тивок, но клучен играч: бродот на нафта. Како основен носач што директно контактира со силиконскиот нафора за време на обработката на нафтата, неговиот материјал, стабилноста и чистотата се директно поврзани со конечниот принос на чип и стабилноста на процесите. Меѓу различните материјали за превозникот,Силикон карбид (sic)Бродовите постепено ги заменуваат традиционалните кварцни решенија, станувајќи најпосакувано решение за напредни процеси и опрема за високо ниво.

Зошто чамци за нафта?

Со напредокот на процесните јазли под 7nm и проширувањето на прозорците на процесите на висока температура, традиционалните чамци за кварц нафта се повеќе се борат во однос на термичката стабилност, контролата на честички и управувањето со животниот век.

Меѓутоа, чамците со силиконски карбид нафора, сепак, постепено се здобиваат со важност заради следниве предности:

1. Стабилно на високи температури:

Тие нудат долгорочни работни температури од 1350-1600 ° C, лесно ракување со мејнстрим процеси како што се CVD, дифузија и annealing. Дури и кратката изложеност на температури од 1800 ° C не покажува омекнување или деформација, што ги прави погодни за опрема за повисоко ниво, како што се единечни печки за карбид со силикон.

2. Долна експанзија и висока стабилност на термички шок:

Со низок коефициент на термичка експанзија, тие можат да издржат брзо зголемување на температурата и се намалува, минимизирајќи го структурното пукање предизвикано од термички стрес. Тие одржуваат одлична морфологија и перформанси во висока температура, сложени атмосфери (како што се водород, азот, амонијак и флуориди).

3. чиста површина и екстремно ниска контаминација:

Висока материјална чистота со минимални метални нечистотии. Ниска грубост на површината, спречувајќи секундарна загадување на силиконските нафора; Одлична контрола на грубоста на површината, со РА под 0,1μm, го потиснува пролевањето на честички и ги исполнува барањата за чистење простории за напредни процеси;

4. Едно парче обликување, структурите со прецизно-машински нафта можат директно да се формираат преку калал3Д печатење, елиминирање на потребата за калапи, значително подобрување на ефикасноста на прилагодувањето; Во комбинација со технологија за машинска обработка на пет оски и жица, забите на бродот се без закопчување, спречувајќи гребнатини на нафорите и обезбедуваат непречено автоматско ракување;

5. Висока сила и долг живот: 

Еден брод може да се пофали со голема јачина на оптоварување и истовремено може да поддржува десетици до стотици 12-инчни нафора. Во споредба со традиционалните кварцни чамци, просечниот животен век на бродот е 5-10 пати подолг, намалувајќи ја фреквенцијата на промена на опремата и вкупната цена на сопственоста.

Сценарио за апликација

Широката прилагодливост начамци за нафта од силикон карбидЈа проширува нивната примена надвор од полето на полупроводници на различни сценарија на процеси на висока температура, вклучително и нови енергетски материјали, LED производство и истражување на нуклеарна енергија.

Индустрија за полупроводници

Тој е погоден за клучни процеси како што се оксидација, дифузија, таложење на CVD и јонска имплантација, што го прави неопходен носач на висока температура за линиите на процесите под-7НМ.

Фотоволтаична индустрија

Во новите технологии на батерии, како што се TopCon и HJT, бродовите за нафта се користат во процесите на печка со висока температура, како што се LPCVD и annealing, помагајќи во подобрување на енергетската ефикасност и стапките на конверзија.

Полупроводници од трета генерација

За процесите на епитаксичен раст на ГАН и СИК во LED диоди, тие поддржуваат подлоги на сафир или силикон карбид. Тие издржуваат корозивни гасови како што се NH₃ и HCL, поддржувајќи го производството на високофреквентни уреди за напојување.

Нови енергетски материјали и истражувања платформа за висока температура

Поддржува реакција на тон на литиумска батерија и топлотен третман на материјали за нуклеарна индустрија, комбинирајќи отпорност на топлина, отпорност на корозија и чистота.

Semicorex нуди висока чистотаПрилагодени чамци за нафта. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контакт Телефон # +86-13567891907

Е -пошта: sales@semicorex.com