Што е SOI

Силикон-на-изолатор (SOI) е препознаен како едно од решенијата за замена на постоечките монокристални силициумски материјали во ерата на нанотехнологијата и е главна алатка за одржување на трендот на Законот на Мур. Силикон-на-изолатор, технологија на подлога која го заменува традиционалниот силикон на рефус супстрат со „инженерски“ супстрат, се користи повеќе од 30 години во специјализирани апликации како што се воените и вселенските електронски системи, каде што SOI има уникатни предности поради неговите одлични отпорност на зрачење и карактеристики со голема брзина.

Материјалите за SOI се основа за развој на SOI технологијата, а развојот на SOI технологијата зависи од континуираниот напредок на материјалите за SOI. Недостатокот на евтини, висококвалитетни материјали за SOI беше примарното ограничување за технологијата за SOI да влезе во индустриско производство во голем обем. Во последниве години, со зрелоста на технологијата за подготовка на материјали за SOI, постепено се решава материјалниот проблем што го ограничува развојот на технологијата SOI, што на крајот вклучува два вида технологија за подготовка на материјали за SOI, имено, имплантација на Сперација по кислород (SIMOX). и технологија на сврзување. Технологијата на сврзување ја вклучува традиционалната технологија Bond and Etch back (BESOI) и технологијата Smart-cut која комбинира вбризгување на водородни јони и спојување предложена од M. Bruel, еден од основачите на SOITEC во Франција, како и комбинацијата на подготовка на материјалот Simbond SOI Изолација и поврзување со кислород предложени од д-р Менг Чен во 2005 година. Новата технологија комбинира изолација и поврзување со инјектирање на кислород.