2023-06-26
За време на обработката, полупроводничките обланди обично мора да се загреваат во специјализирана печка. Таквите печки обично се состојат од долги, тенки, цилиндрични цевки. Наполитанките се поставени во печката и реакторот на таков начин што тие се наредени по рамнина дефинирана со кружниот пресек на печката или реакторот и се распоредени на предодредени, обично еднакво распоредени точки долж централната оска на печка или реактор. За да се постигне ова позиционирање, обландите обично се поставуваат на држачи со дупчиња, наречени чамци со нафора, кои ги поставуваат наполитанките во распоредена конфигурација порамнета по централната оска.
Малите чамци кои содржат серии од обланди што треба да се обработат се поставуваат на долги конзолни лопатки низ кои може да се вметнат и извлечат цевчести печки и реактори. Ваквите лопатки обично вклучуваат рамен носачки дел на кој може да се постават еден или повеќе мали чамци и долга рачка, која се наоѓа на едниот крај од рамниот носач, со кој може да се ракува со лопатките. Помеѓу рачката и носечкиот дел обично се формира преоден дел за да се направат една целина. Исто така, рачката мора да се протега надвор од печката или реакторот за да може да се манипулира со неа и со чамецот со нафора.
Позиционирањето на бродот со нафора во печката или реакторот е важно бидејќи е пожелно да се постави центарот на секоја обланда што е можно поблиску до централната оска на печката или реакторот за да се постигнат униформни услови за обработка на кои се подложени наполитанките. Затоа, свиткувањето на лопатката предизвикано од тежината на бродот што ги носи наполитанките мора да се земе предвид во дизајнот на лопатката, особено затоа што лопатката е поддржана само на едниот крај, т.е., на крајот што штрчи од комората на печката. Покрај разгледувањето на дизајнот на лопатката што произлегува од барањата за оперативна тежина, мора да се користи и сет од стеги дизајнирани да го држат прецизно продолжениот крај на лопатката во позиција. Овие стегачи мора да бидат доста робусни за да го задржат лопатката во точно посакуваната положба додека се едноставни за употреба и минимизирање на можноста за оштетување на лопатката за време на стегањето.
Затоа, беше потребно лопатка со конзола што може да се користи со поголем товар, а притоа да остане компатибилна со постоечките системи за стегање. Исто така, имаше потреба од конзолно лопатка што покажуваше прифатливи карактеристики на отклонување во текот на целиот опсег на тежински оптоварувања со кои може да се користи.
Влопатката против лост се препорачува за користење на рекристализиран силициум карбид со тенок слој CVD SiC, кој е со висока чистота и најдобар избор за компонентите во полупроводничка обработка.
Semicorex може да обезбедивисок квалитетконзолни лопаткииприспособени услуги според цртежите и работната средина.