Зошто вертикалните печки станаа главен избор?

Вертикалните печки се вертикално поставени уреди за греење со висока температура специјално дизајнирани за термичка обработка на производството на полупроводници. Целосниот вертикален систем на печка е составен од отпорен на високи температурицевка на печката, грејниот елемент, системот за контрола на температурата, системот за контрола на гасот и структурата за поддршка на нафора. Вертикалните печки може да ги олеснат критичните полупроводнички процеси, вклучувајќи оксидација на силициум, дифузија, жарење и таложење на атомски слој (ALD) преку воведување на специјални гасови (како што се кислород, водород, азот, итн.) во услови на висока температура.

Во еволуцијата на опремата за термичка обработка во производството на полупроводници, вертикалните печки станаа главен избор за процесите на термичка обработка поради нивните три основни предности.

1. Од перспектива на искористување на просторот, вертикалните печки го прифаќаат комбинираниот дизајн на вертикални цевки и вертикални чамци со нафора. Под ист капацитет за обработка, нивната потреба за подна површина е само 50%-60% онаа на хоризонталните печки, особено погодна за зголемување на густината на производствениот капацитет по единица површина на чисти простории под трендот на проширување на обландата од 450 mm. Преку модуларното вертикално редење, бројот на наполитанки со кои може да се справи еден уред е зголемен за 40%, а излезната ефикасност по единица површина е значително подобра од онаа на хоризонталната печка.

2. Вертикалните печки постигнуваат хоризонтални позиции на обландата преку потпирачите за жлебови со три точки. Во комбинација со вертикален проток на воздух, оваа конфигурација обезбедува порамномерни температурни градиенти и симетрична распределба на топлинскиот стрес во печката, намалувајќи го ризикот од искривување на нафората за повеќе од 30%. Тој е особено погоден за термички осетливи процеси, како што се таложење на диелектрик со висока содржина на К и жарење со имплантација на јони. Спротивно на тоа, вертикалното поставување на хоризонталните печки е склоно да предизвика температурни варијации на рабовите на обландата и да го зголеми ризикот од локална концентрација на стрес.

3. Погодноста за автоматско ракување со обланда е уште една критична предност на вертикалните печки. Хоризонталните печки бараат роботски раце да се подигнатнаполитанкиво вертикална ориентација, која бара строги барања за точноста на позиционирањето и контролата на силата на стегање. Тие го зголемуваат ризикот од кршење на нафората поради оперативни несовпаѓања. Во вертикалната печка, наполитанките се поставуваат хоризонтално. Роботската рака може да постигне ракување без контакт преку вакуумска адсорпција. Во комбинација со системот за визуелно позиционирање, прецизноста на ракувањето е подобрена на ± 0,1 mm, што значително го подобрува целокупното ниво на автоматизација.