Која е функцијата на прстените за фокусирање?

Фокусните прстени се основните компоненти за да се обезбеди униформност и стабилност на процесите на полупроводничка офорт. Преку прецизна контрола на електричните и топлинските полиња, прстените за фокусирање можат да концентрираат плазма на површината на обландата, обезбедувајќи конзистентни резултати на офорт на сите локации на обландата.

Функциите на фокусните прстени

1. Подобрете ја униформноста на офорт

Во процесот на офорт, фокусните прстени можат да ја концентрираат плазмата нанафораповршина, која ефикасно гарантира униформа густина на плазмата, агол на јонско бомбардирање и нивоа на енергија и низ рабовите на обландата и централните региони. Тие ја коригираат дистрибуцијата на електричното поле на работ на обландата, намалувајќи ја стапката на офорт, критичната димензија и морфолошките варијации предизвикани од ефектите на рабовите, со што се обезбедува конзистентност на офорт низ целата површина на обландата. Ако прстенот за фокусирање е премногу истрошен или нема фокален прстен, плазмата ќе се дифузира од работ на обландата, што на крајот ќе предизвика несоодветни отстапувања во ширината на линијата помеѓу рабовите и централните региони.

2. Заштитете ја електростатската чак

Фокусните прстени обично се инсталираат надвор од површината на носачот на обланда на електростатските чак, директно изложени на плазма бомбардирање и корозија. Ова поставување на рати служи како физичка бариера за спречување на плазмата да дојде во контакт со електростатските затворачи за време на процесот на офорт, а со тоа значително го намалува ризикот од оштетување на плазмата. Фокусните прстени, исто така, можат да спречат нуспроизводите генерирани за време на процесот на офорт да се залепат на електростатските чаши, со што се избегнува деградација на перформансите предизвикани од контаминација и затнување на чашката. Ова во голема мера го продолжува циклусот на одржување и животниот век на електростатските капаци, намалувајќи ги трошоците за одржување и замена на опремата.

Фокусните прстени најчесто се направени од висока чистотакварц, силиконисилициум карбидматеријали. Благодарение на нивните одлични сеопфатни перформанси, материјалите од силициум карбид постепено стануваат главна опција за најсовремените процеси на офорт. Како доверлив снабдувач на полупроводнички фокусни прстени во Кина, Semicorex нуди висок квалитетФокусни прстени од силициум карбидсо различни големини за да одговараат на различните барања на опремата за офорт. Semicorex ги поздравува вашите барања и купувања во секое време.