Како се произведуваат полупроводнички кварцни печки цевки?

Полупроводникцевки за кварцна печкасе суштински компоненти кои широко се користат во главните процеси на производство на полупроводници, како што се дифузија, оксидација и жарење. Треба стабилно да ги одржува физичките и хемиските својства дури и кога треба да биде долго изложен на висока температура, интензивен притисок и тешка корозија на работната средина. Во процесот на производство на полупроводници, квалитетот на цевката од кварцната печка директно влијае на перформансите и изведбата на полупроводничките уреди. Поради оваа причина, процесот на производство на цевки од кварцна печка е од клучно значење.

Главните производни процеси на цевки од кварцна печка

1. Избор на суровина

Цевките на кварцните печки се првенствено направени од силициум диоксид со висока чистота, кој е достапен и во природна и во синтетичка форма. Суровините со висока чистота се неопходни за да се обезбедат одлични оптички, термички и хемиски перформанси на цевките од кварцните печки. Особено во полињата со висока прецизност како што се полупроводниците, барањата за содржината на нечистотии, особено металните јонски нечистотии (како што се железо, алуминиум, натриум, итн.), во суровините се исклучително строги и мора да се контролираат на ниво на ppm.

2. Топење и обликување

Избраникварцправ или грутки се топат во печката со висока температура на над 2000°C за да се формира униформа сплотена кварцна течност. Прецизната контрола на температурата и специфичното атмосферско опкружување (како вакуум или инертен гас) се клучни за време на овој процес за ефикасно спречување на дефекти предизвикани од оксидација и контаминација. Стопената кварцна течност потоа континуирано се формира во цевки со помош на специјализирана опрема за цртање или калапи како машини за цртање цевки.

3. Сечење и завршна завршна површина

Обликуваните кварцни цевки обично се сечат до потребната должина преку опрема за сечење, како што се дијамантски секачи или ласерски секачи. Краевите на исечените цевки имаат тенденција да бидат груби, па затоа е потребно фино мелење за да се обезбеди мазност и плошност на површината. Процесите на механичко полирање или хемиско полирање обично се усвојуваат за да се отстранат брусите и микропукнатините предизвикани од сечење, што може да им овозможат на краевите на цевките да ги исполнат стандардите за плошност со висока прецизност и да ги задоволат барањата за вакуумско запечатување на полупроводничките процеси.

4. Склоп за заварување

Исечените кварцни цевки треба да се заварат на висока температура со цевките од јадрото на печката, прирабниците и издувните цевки за склопување за да одговараат на приспособените цртежи на купувачот. По склопувањето на заварувањето, белиот оксиден слој од кварцната цевка треба да се отстрани со полирање на висока температура. Овој слој се создава за време на процесот на ладење откако кварцната цевка е споена на високи температури. Иако сам по себе е безопасен, тој влијае на пропустливоста на светлината, плошноста и мазноста на кварцниот производ. Полирањето со висока температура може ефикасно да го отстрани оксидниот слој, што резултира со проѕирни и чисти цевки.

5. Третман со жарење

Внатрешниот стрес се создава во кварцните цевки по процесите на обликување, сечење, заварување и полирање, што може да влијае на нивната механичка сила и термичка стабилност. Така, сите високотемпературно фабрикувани кварцни делови треба да се подложат на термичка обработка и жарење за да се елиминира таков внатрешен стрес.

6. Квалитетна проверка

Во целиот производствен процес на цевки од кварцна печка, потребно е строго тестирање од повеќе аспекти за да се осигура дека готовиот производ ги исполнува стандардите. Инспекциите вклучуваат внатрешен стрес (проверен со поларизирана светлина за очигледни линии на напрегање), прецизност на димензиите (како што е контрола на толеранцијата за надворешниот дијаметар, дебелина и должина на ѕидот), квалитет на површината (грубост, присуство на дефекти итн.), механички својства (јачина, цврстина итн.) и чистота (слободен внатрешен ѕид од нечистотии и меурчиња).