Порозен алумина вакуум чак

Вакуумската чак е поврзана со опремата за вакуум преку поврзувачка цевка. Кога вакуумската чашка ќе дојде во контакт со работното парче, како што е нафора/материјал со тенок филм, опремата за вакуум почнува да работи, создавајќи негативен притисок во внатрешноста на вакуумската чак. Под атмосферски притисок, работното парче цврсто се прилепува на вакуумската чашка, што овозможува обработка. По завршувањето на обработката, опремата за вакуум престанува да работи и полека ја полни вакуумската чашка со гас, автоматски одвојувајќи го работното парче од чак. Ова го комплетира стегањето, обработката и ракувањето со работното парче.

Основната цел на полупроводничката фотолитографија е да се „отпечатат“ милијарди обрасци на кола на транзистор на нафора со прецизност на нанометарско ниво. Суштината на „фотолитографијата“ е да се користи извор на светлина за да се зрачи високо фотосензитивниот фоторезист, предизвикувајќи хемиска реакција што го гравира колото. Меѓутоа, кога изворот на светлина ја зрачи нафората, таа неизбежно свети и на електростатската чак, која служи како носач на нафора. Добиената рефлектирана секундарна светлина може да го попречи процесот на фотолитографија, предизвикувајќи изложеност на ненамерни области и оштетување на колото. Затоа, црната површина за вакуумската чак ја минимизира рефлексијата, обезбедувајќи ги прецизните барања на системот за фотолитографија. Врз основа на оваа способност, црната алумина може широко да се користи не само во електростатички чак, туку и во сценарија за „потиснување на светлината“. Доаѓањето на ерата на вештачката интелигенција овозможи значителен развој во оптичките комуникациски апликации, а супстратите од црна алумина често се гледаат во пакувањето на оптоелектронските уреди и елементите што емитуваат светлина.

Црна алумина керамикае направен првенствено од Al2O3, со додадени оксиди на преодни метали како бои и помошни средства за синтерување, синтерувани на одредена температура. Бојата е клучна компонента на овој тип керамика, која ја одредува нејзината конечна боја. При изборот на бои за вакум чак, од суштинско значење е да се обезбеди степенот на бојата, механичката цврстина, порозноста и големината на порите на вакуумската чашка.

Во моментов, најчесто користените оксиди на преодни метали како бои и домашно и на меѓународно ниво вклучуваат Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 и MnO2, а најзастапени се Fe2O3, CoO, NiO и MnO2. Бидејќи алумината е помалку испарлива на високи температури, додека оксидите на преодните метали се спротивно, нивната испарливост се зголемува со температурата. Овие оксиди формираат соединенија од типот на спинел при синтерување на висока температура, што ја намалува нивната испарливост. Затоа, за да се потисне испарувањето на оксидите на преодните метали, треба да се изберат соодветни услови на процесот за да се овозможи нивно комбинирање во соединенија од типот на спинел на пониски температури.

Semicorex нуди обичаипорозна керамичка вакуум чак. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контакт телефон +86-13567891907

Е-пошта: sales@semicorex.com