Мејнстрим методи на одврзување

Со напредокот на обработката со полупроводници и зголемената побарувачка за електронски компоненти, примената на ултра-тенки наполитанки (дебелина помала од 100 микрометри) станува сè покритична. Сепак, со тековните намалувања на дебелината на обландата, наполитанките се многу ранливи на кршење за време на следните процеси, како што се мелење, офорт и метализација.

Технологиите за привремено поврзување и одврзување обично се применуваат за да се гарантираат стабилни перформанси и производствен принос на полупроводнички уреди. Ултра тенката обланда е привремено фиксирана на цврста носачка подлога, а по обработката од задната страна, двете се одвојуваат. Овој процес на раздвојување е познат како разврзување, кој првенствено вклучува термичко одврзување, ласерско, хемиско и механичко одврзување.

Термичко одврзување

Термичкото одврзување е метод кој ги одвојува ултра тенките наполитанки од носечките подлоги со загревање за да се омекне и разложи лепилото за врзување, со што се губи неговата лепливост. Главно е поделена на термичко одврзување со слајд и термичко распаѓање.

Термичкото одлепување на лизгачот обично вклучува загревање на врзаните обланди до нивната температура на омекнување, која се движи приближно од 190°C до 220°C. На оваа температура, лепилото за лепење ја губи својата лепливост, а ултра тенките наполитанки може полека да се туркаат или одлепуваат од носечките подлоги со силата на смолкнување што ја применуваат уреди како што севакуум чашиза да се постигне непречено раздвојување. За време на термичкото распаѓање, врзаните наполитанки се загреваат на повисока температура, предизвикувајќи хемиско распаѓање (сечење на молекуларниот синџир) на лепилото и целосно губење на неговата адхезија. Како резултат на тоа, врзаните наполитанки можат да се откачат природно без никаква механичка сила.

Ласерско одврзување

Ласерското одврзување е метод на разврзување кој користи ласерско зрачење на лепливиот слој на врзаните наполитанки. Лепливиот слој ја апсорбира ласерската енергија и генерира топлина, а со тоа се подложува на фотолитичка реакција. Овој пристап овозможува одвојување на ултра тенките наполитанки од носечките подлоги на собна температура или релативно ниски температури.

Сепак, клучен предуслов за ласерско одврзување е дека носачката подлога мора да биде транспарентна на користената ласерска бранова должина. На овој начин, ласерската енергија може успешно да навлезе во носачката подлога и ефикасно да се апсорбира од материјалот на слојот за поврзување. Поради оваа причина, изборот на ласерска бранова должина е критичен. Вообичаените бранови должини вклучуваат 248 nm и 365 nm, кои треба да се совпаѓаат со карактеристиките на оптичката апсорпција на сврзувачкиот материјал.

Хемиско одврзување

Со хемиско разврзување се постигнува раздвојување на врзаните наполитанки со растворање на сврзувачкиот леплив слој со наменски хемиски растворувач. Овој процес бара молекулите на растворувачот да навлезат во адхезивниот слој за да предизвикаат оток, сечење на синџирот и евентуално растворање, што им овозможува на ултра тенките наполитанки и носечките подлоги природно да се одделат. Оттука, не е потребна дополнителна опрема за греење или механичка сила обезбедена од вакуумските чаши, хемиското одврзување создава минимален стрес на наполитанките.

Во овој метод, обландите за носење често се претходно дупчени за да се овозможи растворувачот целосно да контактира и да го раствори врзувачкиот слој. Дебелината на лепилото влијае на ефикасноста и униформноста на пенетрацијата и растворањето на растворувачот. Растворливите сврзувачки лепила се претежно термопластични или модифицирани материјали на база на полиимид, кои обично се нанесуваат со обложување со центрифугирање.

Механичко одврзување

Механичкото разврзување ги одвојува ултра тенките обланди од привремените носечки подлоги исклучиво со примена на контролирана механичка сила на лупење, без топлина, хемиски растворувачи или ласери. Процесот е сличен на лупење лента, каде што нафората нежно се „крева“ преку прецизна механичка работа.

Semicorex нуди висок квалитетSIC порозни керамички чаши за врзување. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контакт телефон +86-13567891907

Е-пошта: sales@semicorex.com