Методи на AlN кристален раст

AlN, како полупроводнички материјал од третата генерација, не е само важен материјал за сина светлина и ултравиолетова светлина, туку и важен материјал за пакување, диелектрична изолација и изолација за електронски уреди и интегрирани кола, особено погоден за уреди со висока температура и висока моќност. . Покрај тоа, AlN и GaN имаат добро термичко совпаѓање и хемиска компатибилност, AlN што се користи како епитаксијален супстрат GaN, може значително да ја намали густината на дефектот во уредите GaN, да ги подобри перформансите на уредот.

Поради привлечните изгледи за апликација, подготовката на висококвалитетни, големи кристали AlN доби големо внимание од истражувачите дома и во странство. Во моментов, AlN кристалите се подготвуваат со метод на раствор, директно нитридирање на алуминиум метал, хидридна гасна-фазна епитаксија и транспорт на физичка пареа фаза (PVT). Меѓу нив, методот PVT стана мејнстрим технологија за одгледување AlN кристали со неговата висока стапка на раст (до 500-1000 μm/h) и високиот квалитет на кристалот (густина на дислокација под 103 cm-2).

Растот на кристалите AlN со методот PVT се постигнува со сублимација, транспорт на гасна фаза и рекристализација на прав AlN, а температурата на околината за раст е висока до 2 300 ℃. Основниот принцип на одгледување AlN кристали со PVT методот е релативно едноставен, како што е прикажано во следната равенка:

2AlN(и) ⥫⥬ 2Al(g) ＋N2(g)

Главните чекори на процесот на раст се како што следува: (1) сублимација на суровиот прашок AlN; (2) транспорт на гас-фазни компоненти на суровината; (3) адсорпција на компоненти од гасна фаза на површината за раст; (4) површинска дифузија и нуклеација; и (5) процес на десорпција [10]. Под стандарден атмосферски притисок, кристалите AlN почнуваат полека да се распаѓаат во пареа на Al и азот само на околу 1700 ℃, а реакцијата на распаѓање на AlN брзо се интензивира кога температурата ќе достигне 2200 ℃.

Материјалот TaC е вистинскиот материјал за сад за раст на кристалите AlN што се користи, со одлични физички и хемиски својства, одлична топлинска и електрична спроводливост, отпорност на хемиска корозија и добра отпорност на термички удари, што може ефикасно да ја подобри ефикасноста на производството и работниот век.

Semicorex нуди висок квалитетПроизводи за обложување TaCсо приспособена услуга. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контакт телефон +86-13567891907

Е-пошта: sales@semicorex.com