TaC облога со CVD метода

Облогата со тантал карбид е важен високо-цврст, отпорен на корозија и хемиски стабилен високотемпературен структурен материјал со точка на топење до 4273 °C, едно од неколкуте соединенија со највисока температурна отпорност. Има одлични механички својства на висока температура, отпорност на чистење на протокот на воздух со голема брзина, отпорност на аблација и добра хемиска и механичка компатибилност со графит и јаглерод/јаглерод композити. Затоа, во епитаксијалниот процес на GaN LED диоди и уредите за напојување SiC како што е MOCVD, облогата TaC има одлична отпорност на киселина и алкали на H2, HCl, NH3, што може целосно да го заштити материјалот од графитната подлога и да ја прочисти околината за раст.

TaC облогата останува стабилна на температури над 2000 °C, додека SiC облогата почнува да се распаѓа на 1200-1400 °C, што исто така значително ќе го подобри интегритетот на графитната подлога. Облогите од тантал карбид моментално се подготвуваат на графитни подлоги главно со CVD, а производствениот капацитет на TaC премазите дополнително ќе се подобри за да се задоволи побарувачката за уреди за моќност на SiC и епитаксијални уреди GaNLED.

Системот за хемиска реакција што се користи за таложење на облоги од тантал карбид на јаглеродни материјали со хемиско таложење на пареа (CVD) е TaCl5, C3H6, H2 и Ar, каде што Ar се користи како разредување и носечки гас.

Облогите од тантал карбид играат клучна улога во епитаксијалниот процес на GaN LED диоди и уредите за напојување SiC кои користат MOCVD. Напредните материјали ги штитат виталните компоненти, обезбедувајќи нивна долговечност и перформанси во суровите услови поврзани со производството на полупроводници на висока температура.

Бидејќи побарувачката за уреди за напојување SiC и GaN LED диоди продолжува да расте, производствениот капацитет на облоги од тантал карбид е поставен да се прошири. Производителите се подготвени да ги исполнат растечките барања на овие индустрии, олеснувајќи ја еволуцијата на технологијата за високи температури.

Во заклучок,облоги од тантал карбидпретставуваат неверојатен технолошки скок во обезбедувањето на издржливост и сигурност на материјалите во средини со висока температура. Како што продолжуваат да го револуционизираат секторот за полупроводници и енергетска електроника, овие облоги го нагласуваат нивниот статус како критичен елемент на современиот високотехнолошки напредок.