Облога во термичко поле на полупроводнички силиконски единечни кристали

Обложените делови во полупроводнички силициумски еднокристално топло поле генерално се обложени со CVD метод, вклучувајќи пиролитички јаглероден слој,Силикон карбид слојиОблога од тантал карбид, секој со различни карактеристики.

Заеднички точки: подлогата е изостатски графит со висока чистота, обично помалку од 5 ppm пепел; слој се користат CVD метод; облогата е во основа 100% јаглерод или силициум карбид; по обложување, површината е релативно густа, гасот, особено силиконската пареа на печката или гасот од силициум оксид во основа може да се блокираат; сопствената испарливост на прашината е исто така многу мала.

Разлики: стандардната дебелина на облогата, пиролитички јаглерод слој е генерално околу 40um; Силициум карбид слој обично се прави околу 100um, но според различните потреби на клиентите, може да се направи 30um~150um, вклучувајќи еден слој и два премази; Тантал карбид слој е генерално 35±15um.

Пиролитичка јаглеродна обвивка, нејзината густина е еквивалентна на онаа на непорозниот графит, што е околу 2,2. Има мала отпорност и висока топлинска спроводливост во паралелна насока на површината, така што може да ја задржи конзистентноста на температурата на површината, а исто така има низок коефициент на термичка експанзија и висок модул на еластичност. Во нормална насока на површината, коефициентот на топлинско ширење е поголем, а топлинската спроводливост е помала.

За производите обложени со силикон карбид, модулот на еластичност на облогата е многу висок, десетици пати повисок од модулот на еластичност на внатрешната графитна подлога, така што за да се избегне пукање на производот, треба да се ракува нежно.

Пиролитичка јаглеродна обвивка и облога од силициум карбид на целата содржина на нечистотија е помала од 5 ppm, каде што содржината на главниот метален елемент е помала од 0,1 или 0,01 ppm, толку потешко е да се справи со борниот елемент е 0,01 или 0,15 ppm.

Semicorex нуди висококвалитетен производ за CVD обложување за полупроводници со приспособена услуга. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контакт телефон +86-13567891907

Е-пошта: sales@semicorex.com