Разни примени на кварцот во производството на полупроводници

На прв поглед,кварцен (SiO2) материјализгледа многу слично на стаклото, но она што е посебно е тоа што обичното стакло се состои од многу компоненти (како кварцен песок, боракс, борна киселина, барит, бариум карбонат, варовник, фелдспат, сода пепел итн.), додека кварцот содржи само SiO2, а неговата микроструктура е едноставна мрежа составена од тетраедарски структурни единици силициум диоксид.

Бидејќи количината на метални нечистотии содржани вокварце многу мал и неговата чистота е исклучително висока, самиот кварц има карактеристики и предности кои другите очила не можат да ги покажат, а е познат како „круна“ на стаклените материјали. На пример, во однос на отпорноста на топлина, кварцот нема да експлодира дури и ако веднаш се стави во вода откако ќе изгори црвено во огнот. Поконкретни предности се како што следува:

1. Отпорност на високи температури. Точката на омекнување на кварцното стакло е околу 1730℃ и може да се користи долго време на 1150℃, а максималната температура може да достигне 1450℃ за кратко време.

2. Отпорност на корозија. Освен флуороводородна киселина, кварцот со висока чистота речиси и да нема хемиска реакција со други киселински супстанции. На високи температури, може да се спротивстави на корозија од сулфурна киселина, азотна киселина, хлороводородна киселина, аква регија, неутрални соли, јаглерод и сулфур. Неговата отпорност на киселина е 30 пати поголема од онаа на керамиката и 150 пати поголема од онаа на не'рѓосувачкиот челик. Особено неговата хемиска стабилност на високи температури е неспоредлива со ниту еден друг инженерски материјал.

3. Добра термичка стабилност. Кварцот со висока чистота има многу мал коефициент на термичка експанзија и може да издржи драстични температурни промени. Кога кварцот со висока чистота се загрева на околу 1100°C, тој нема да експлодира кога ќе се стави во вода на собна температура.

4. Добра пропустливост на светлината. Кварцот со висока чистота има добра пропустливост на светлина во целиот спектар од ултравиолетово до инфрацрвено, а пропустливоста на видливата светлина е над 93%, особено во регионот на ултравиолетовиот спектар, максималната пропустливост може да достигне повеќе од 80%.

5. Добри перформанси на електрична изолација. Вредноста на отпорноста на кварцот со висока чистота е еквивалентна на 10.000 пати поголема од онаа на обичното кварцно стакло. Тој е одличен материјал за електрична изолација и има добри електрични својства дури и при високи температури.

Благодарение на овие одлични физички и хемиски својства, кварцните материјали со висока чистота се широко користени во модерната електронска технологија, полупроводници, комуникации, извори на електрична светлина, сончева енергија, високопрецизни мерни инструменти за национална одбрана, лабораториски физички и хемиски инструменти, нуклеарна енергија, нано-индустријата итн. Особено, во индустријата за полупроводници што брзо се развива, обемот на силиконските наполитанки се зголемува, така што производителите на чипови имаат голема побарувачка за различни кварцни компоненти. Сепак, исто така треба да се забележи дека за да се спречи контаминација за време на процесот на обработка, мора да се обезбеди висока чистота на кварцниот материјал за време на употребата.

Во индустријата за полупроводници,кварце широко користен, а производите од кварц со висока чистота се важен потрошен материјал во производството на нафора. Кварцните делови како што се садници, кристални чамци и јадрото на цевките од дифузната печка што се користат за производство на силиконски единечни кристали мора да користат производи од кварцно стакло со висока чистота. Главната целна пазарна примена на кварцните делови во полето на полупроводниците е процесот на дифузија и офорт во леарницата на нафора. Тие можат да се поделат во две категории: уреди за зони со висока температура и уреди за зони со ниска температура. Главните уреди што се користат се како што следува:

1. Уредите за високотемпературни зони се главно цевки за печки, стаклени чамци итн. кои се користат при дифузна оксидација и други врски, кои треба да бидат директно или индиректно во контакт со силиконски наполитанки во средина со висока температура; главно се купуваат материјали од сплотено кварцно стакло и се произведуваат преку термичка обработка;

2. Уредите за зона со ниска температура главно вклучуваат кварцни прстени што се користат во процесот на офорт, како и корпи за цвеќе и резервоари за чистење што се користат во процесот на чистење. Тие главно се користат во средини со ниски температури. Тие главно купуваат кварцно стакло рафинирано со гас и се произведуваат со ладна обработка.

Semicorex нуди висок квалитеткварцни деловина ниво на полупроводници. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контакт телефон +86-13567891907

Е-пошта: sales@semicorex.com