Кои се добрите и лошите страни на суво и влажно офортување?

1. Што се суво и влажно офортување?

Сувото офорт е техника која не вклучува никаква течност, наместо тоа, користи плазма или реактивни гасови за оградување на цврстиот материјал на површината на обландата. Овој метод е незаменлив во производството на повеќето производи со чипови, како што се DRAM и Flash меморија, каде што не може да се користи влажно офортување. Влажното офорт, од друга страна, вклучува употреба на течни хемиски раствори за гравирање на цврстиот материјал на површината на обландата. Иако не е универзално применливо за сите производи со чип, влажното офорт е широко користено во пакување на ниво на обланда, MEMS, оптоелектронски уреди и фотоволтаици.

2. Кои се карактеристиките на сувото и влажното офортување?

Прво, да ги разјасниме концептите на изотропно и анизотропно офортување. Изотропното офорт се однесува на стапката на офорт што е униформа во сите правци на истата рамнина, слично на тоа како брановите се шират рамномерно кога каменот се фрла во мирна вода. Анизотропното офорт значи дека брзината на офорт варира во различни насоки на иста рамнина.

Влажното офортување е изотропно. Кога нафората ќе дојде во контакт со растворот за офорт, таа се гребе надолу, а исто така предизвикува странично офортување. Ова странично офорт може да влијае на дефинираната ширина на линијата, што доведува до значителни отстапувања на офорт. Така, влажното офортување е предизвик да се контролира прецизно за офортирање форми, што го прави помалку погодно за карактеристики помали од 2 микрометри.

Спротивно на тоа, сувото офорт овозможува попрецизна контрола на обликот на офорт и нуди пофлексибилни методи на офорт. Со суво офорт може да се постигне и изотропно и анизотропно офортување. Анизотропното офорт може да произведе заострени (агол <90 степени) и вертикални профили (агол ≈90 степени).

Да резимираме:

1.1 Предности на суво офорт (на пр., RIE)

Насоченост: Може да постигне висока насоченост, што резултира со вертикални странични ѕидови и високи соодноси.

Селективност: Може да ја оптимизира селективноста на офорт со избирање специфични гасови и параметри за офорт.

Висока резолуција: Погоден за фини карактеристики и длабоко гравирање на ровови.

1.2 Предности на влажното офортување

Едноставност и исплатливост: Течностите и опремата за офорт се генерално поекономични од оние што се користат за суво офорт.

Униформност: Обезбедува униформа офорт низ целата обланда.

Не е потребна сложена опрема: Вообичаено е потребна само бања за натопување или опрема за обложување.

3. Избор помеѓу суво и влажно офортување

Прво, врз основа на барањата за процесот на производот со чип, ако само суво офорт може да ја исполни задачата за офорт, изберете суво офорт. Ако и сувото и влажното офортување може да ги исполни барањата, влажното офорт е генерално претпочитано поради неговата исплатливост. Ако е потребна прецизна контрола над ширината на линијата или вертикалните/заострените агли, одлучете се за суво офорт.

Сепак, одредени специјални структури мора да се гравираат со користење на влажно офорт. На пример, во MEMS, превртената пирамидална структура на гравираниот силикон може да се постигне само преку влажно офортување.**