Што е електростатско чак (ESC)?

Во производството на полупроводници, прецизноста и стабилноста на процесот на офорт се најважни. Еден критичен фактор за постигнување висококвалитетно офорт е да се осигурате дека наполитанките се совршено рамни на фиоката за време на процесот. Секое отстапување може да доведе до нерамномерно јонско бомбардирање, предизвикувајќи непожелни агли и варијации во стапките на офорт. За да се справат со овие предизвици, инженерите развијаЕлектростатски чаши (ESC), кои значително го подобрија квалитетот и стабилноста на офорт. Оваа статија истражува во дизајнот и функционалноста на ESC, фокусирајќи се на еден клучен аспект: електростатските принципи зад адхезијата на нафора.

Електростатско адхезија на нафора

Принципот задESCСпособноста на безбедно да држи нафора лежи во неговиот електростатички дизајн. Постојат две примарни конфигурации на електроди што се користат воESCs: дизајни со една електрода и двојна електрода.

Дизајн со една електрода: Во овој дизајн, целата електрода е рамномерно распоредена низESCповршина. Иако е ефикасен, тој обезбедува умерено ниво на сила на адхезија и униформност на полето.

Дизајн со двојна електрода: Дизајнот со двојна електрода, сепак, користи и позитивни и негативни напони за да создаде посилно и подеднакво електростатско поле. Овој дизајн нуди поголема сила на адхезија и осигурува дека нафората се држи цврсто и рамномерно низ површината на ESC.

Кога на електродите се применува DC напон, се генерира електростатско поле помеѓу електродите и нафората. Ова поле се протега низ изолациониот слој и е во интеракција со задниот дел на нафората. Електричното поле предизвикува обвиненијата на површината на обландата да се прераспределат или поларизираат. За допирани силиконски наполитанки, слободните полнежи се движат под влијание на електричното поле - позитивните полнежи се движат кон негативната електрода, а негативните полнежи се движат кон позитивната електрода. Во случај на непреработени или изолациски обланди, електричното поле предизвикува мало поместување на внатрешните полнежи, создавајќи диполи. Добиената електростатска сила цврсто се прилепува на нафората на чак. Јачината на оваа сила може да се приближи користејќи го Кулонов закон и јачината на електричното поле.