Што е кристален систем за печки за раст

Печката за раст на еден кристал е високо специјализирана опрема што се користи за производство на единечни кристали без дислокација од поликристален силициумски материјал. Во средина со аргон гас, печката користи графитен систем за загревање за да го стопи поликристалниот силициум и да расте монокристален силициум користејќи го методот Чохралски. Печката е составена од шест клучни системи кои работат во хармонија за да обезбедат ефикасен и висококвалитетен раст на кристалите. Овие системи вклучуваат механички преносен систем, систем за контрола на температурата на греењето, вакуумски систем, систем за гас од аргон, систем за ладење на вода и систем за електрична контрола.

Систем за механички пренос

Механичкиот преносен систем ја формира основата на оперативната способност на печката за раст на еден кристал. Тој е одговорен за контролирање на движењето и на кристалот и на садот, вклучително и подигнување и ротирање на семениот кристал и прилагодување на вертикалната и ротационата положба на садот. Прецизноста во контролирањето на овие параметри е од клучно значење за успехот на секоја фаза од растот на кристалите, како што се сеење, врат, раменици, раст со еднаков дијаметар и опашка. Точната контрола на положбата, брзината и аголот на семениот кристал во текот на овие фази гарантира дека кристалот расте според бараните услови на процесот. Без овој систем, печката нема да може да ги изврши фините прилагодувања потребни за производство на кристали без дефекти.

Систем за контрола на температурата на греењето

Сржта на функционалноста на печката е системот за контрола на температурата на греењето, кој е одговорен за генерирање на топлина потребна за топење на поликристалниот силициум и одржување на стабилна температура во текот на процесот на раст на кристалите. Овој систем се состои од компоненти како грејач, сензори за температура и единица за контрола на температурата. Грејачот, често направен од графит со висока чистота, генерира топлина со претворање на електричната енергија во топлинска енергија. Штом силиконскиот материјал ќе ја достигне саканата температура и ќе се стопи, температурните сензори постојано ги следат флуктуациите. Овие сензори испраќаат податоци во реално време до контролната единица, која ја прилагодува излезната моќност за да одржува прецизна температура во печката. Одржувањето стабилна температура е критично, бидејќи дури и мали флуктуации може да доведат до дефекти на кристалите или неправилен раст.

Вакуумски систем

Вакуумскиот систем е од клучно значење за создавање и одржување на идеална средина со низок притисок потребна за време на растот на кристалите. Работи со отстранување на воздухот, нечистотиите и другите гасови од комората на печката со помош на вакуумски пумпи. Овој процес осигурува дека печката работи при притисоци вообичаено под 5 TOR, спречувајќи го силиконскиот материјал да оксидира за време на процесот на висока температура. Дополнително, вакуумската средина помага во елиминирање на сите испарливи нечистотии ослободени за време на растот на кристалите, што може значително да ја подобри чистотата и севкупниот квалитет на добиениот монокристал. Според тоа, вакуумскиот систем не само што го штити силиконот од несакани реакции туку и ги подобрува перформансите и доверливоста на печката.

Аргон гасен систем

Системот за гас со аргон служи за две главни цели: заштита на силициумскиот материјал од оксидација и одржување на внатрешниот притисок на печката. По процесот на вакуум, во комората се внесува аргон гас со висока чистота (со ниво на чистота од 6N или повеќе). Аргонот, бидејќи е инертен гас, создава заштитна бариера што спречува преостанатиот кислород или надворешен воздух да реагира со стопениот силициум. Дополнително, контролираното внесување на аргон помага да се стабилизира внатрешниот притисок, обезбедувајќи оптимална средина за раст на кристалите. Во некои случаи, протокот на гас аргон, исто така, помага во отстранување на вишокот топлина од растечкиот кристал, делувајќи како средство за ладење за подобрување на контролата на температурата.

Систем за ладење со вода

Системот за ладење на вода е дизајниран да управува со топлината што се создава од различни високотемпературни компоненти во печката, како што се грејачот, садот и електродите. Како што работи печката, овие компоненти произведуваат значителна количина на топлина, која, ако не се управува, може да предизвика оштетување или деформација. Системот за ладење со вода циркулира вода за ладење низ печката за да го исфрли вишокот топлина и да ги задржи овие компоненти во безбедни работни температурни опсези. Покрај продолжувањето на животниот век на компонентите на печката, системот за ладење игра помошна улога во помагањето да се регулира температурата во печката, а со тоа се подобрува севкупната контрола на температурата и точноста.

Електричен контролен систем

Честопати наречен „мозок“ на печката за раст на еден кристал, системот за електрична контрола ја надгледува работата на сите други системи. Овој систем прима податоци од различни сензори, вклучително и сензори за температура, притисок и позиција, и ги користи овие информации за да изврши прилагодувања во реално време на системите за механички пренос, греење, вакуум, аргон и водено ладење. На пример, системот за електрична контрола може автоматски да ја прилагоди грејната моќност врз основа на отчитувањата на температурата или да ја измени брзината и аголот на ротација на кристалот и садот за време на различни фази од процесот на растење. Дополнително, системот е опремен со функции за откривање дефекти и аларм, што осигурува дека сите неправилности се навремено идентификувани и дека се преземаат корективни активности за да се одржи безбедно и ефикасно работење.

Како заклучок, шесте главни системи на една печка за раст на еден кристал работат во тандем за да го олеснат сложениот процес на раст на кристалите. Секој систем игра витална улога во одржувањето на неопходните услови за производство на висококвалитетни единечни кристали, осигурувајќи дека печката работи ефикасно и безбедно. Без разлика дали се работи за контрола на температурата, притисокот или механичките движења, секој систем е од суштинско значење за севкупниот успех на печката.

---

Семикорекс нудивисококвалитетни графитни деловиза печки за раст на кристали. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контакт телефон +86-13567891907

Е-пошта: sales@semicorex.com