2024-11-08
Плазмата е четвртата состојба на материјата и игра клучна улога и во индустриските апликации и во природните феномени. На пример, плазмата е присутна во молњите и изобилно се создава на површината на сонцето, каде што температурата на средината достигнува неверојатни 13.500 °C. Оваа плазма со висока температура не е погодна за повеќето процеси на индустриско производство.
Од друга страна, плазмата со ниска температура е вештачки создадена форма на плазма која користи енергија, наместо топлина, за да ги забрза хемиските реакции. Неговата температура обично се движи од собна температура до неколку стотици степени Целзиусови, што го прави многу ефикасен за различни апликации.
Чекори за генерирање на вештачка плазма:
1. Намалете го притисокот во комората: Започнете со употреба на вакуумска пумпа за да го намалите притисокот во шуплината. Постигнувањето низок притисок е од суштинско значење за стабилизирање на плазмата и олеснување на јонизацијата на гасот.
2. Воведување на процесен гас: Инјектирајте специфични процесни гасови во шуплината. Овие гасови служат како примарен извор на честички во плазмата.
3. Возбудете ја плазмата: нанесете ја моќта за јонизирање на гасот, ефикасно формирајќи плазма.
4. Деактивирајте ја плазмата и вратете го атмосферскиот притисок: штом ќе завршат саканите реакции, исклучете ја плазмата и вратете ја комората на атмосферски притисок.
Примени на нискотемпературна плазма во производството на полупроводници:
Нискотемпературната плазма е незаменлива во производството на полупроводници, служи критични функции при суво офорт, физичко таложење на пареа (PVD), хемиско таложење на пареа (CVD), таложење на атомски слој (ALD), имплантација на јони, пепел и откривање на крајната точка. Неговата разновидност и ефикасност го прават фундаментална алатка во индустријата.
Семикорекс нудивисококвалитетни решенија за плазма офорт. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.
Контакт телефон +86-13567891907
Е-пошта: sales@semicorex.com