Структурата на електростатскиот чак (ESC)

АнЕлектростатско чак (ESC)е уред кој се користи за задржување на полупроводничките наполитанки при процеси како што се офорт, таложење или полирање. Работи со генерирање на електростатско поле за привлекување и безбедно држење на обландата на површината на чак, обезбедувајќи стабилност и прецизно усогласување при ракување со обландата. ESC се широко користени во производството на полупроводници за да се подобри прецизноста на процесот и ефикасноста на ракување со нафора.

Вистинската слика на конвенционаленелектростатско чак (ESC)е прикажан на сликата. Примарната разлика помеѓу моделите лежи во материјалот на изолациониот слој на површината на електростатската чак. На сликата, темната боја претставува алуминиум нитрид, додека белата боја претставува алуминиум оксид. Структурата наелектростатско чаксе состои од неколку делови:

1. **Изолационен слој**: Овој слој е во контакт со нафората, вообичаено направен од алуминиум нитрид или алуминиум оксид керамика поради нивната одлична механичка сила, отпорност на високи температури и добра топлинска спроводливост.

2. **Пигла за исфрлање и дупка за гас**: Иглата за исфрлање е дизајнирана да ја пренесува нафората. Кога нафората ќе влезе во комората за офорт, иглата за исфрлање се крева за да ја поддржи, а потоа се спушта за да ја стави нафората на површината на електростатската чак. Иглата за исфрлање обично има шуплива структура, што овозможува внесување на гас на хелиум за да се излади нафората.

3. **Канал за проток на назад**: оваа компонента ја подобрува дисипацијата на топлина и ја олеснува адсорпцијата на нафората.

4. **Електростатска електрода**: Оваа електрода генерира електрично поле што ја создава електростатската сила неопходна за да ја држи нафората на место. Вообичаено, електродата е рамна и е или вградена во или депонирана на изолациониот материјал. Најчесто користени спроводливи материјали вклучуваат алуминиум, бакар и волфрам.

5. **Циркулирачка вода за ладење и грејна електрода**: Овие елементи се првенствено одговорни за целокупната контрола на температурата на електростатската чак. Електродата за греење и циркулирачката вода за ладење работат во тандем за да одржуваат стабилна температура за нафората. Потпирањето исклучиво на циркулирачка вода за ладење може да доведе до неможност да се управува со топлината што се создава за време на процесот на офорт, што потенцијално ја загрозува стабилноста на процесот.  

Semicorex нуди висок квалитетЕлектростатско чак (ESC). Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контакт телефон +86-13567891907

Е-пошта: sales@semicorex.com