Колку се важни чамците со нафора со силикон карбид?

Во производството на полупроводници, покрај основната процесна опрема, како што се фотолитографија и офорт, друг тип на основна компонента игра клучна улога во стабилноста на процесот:чамец со нафора.

Особено во последниве години, со развојот на процесите на висока температура и полупроводниците од третата генерација, чамците со нафора од силициум карбид, направени од силициум карбид, тивко стануваат стандардни во индустријата.

Значи, каква улога игра оваа навидум безначајна компонента во производството на полупроводници?

01 Основни функции на брод со нафора

Брод со нафора е носач на процеси што се користи за држење нафора, првенствено се користи во опрема за обработка на висока температура.

Во процесот на производство на полупроводници, наполитанките се подложени на повеќе чекори на термичка обработка, како што се дифузија, оксидација, жарење и хемиско таложење на пареа (CVD). За време на овие процеси, обландите обично се обработуваат сериски во опрема за цевки за печка, а чамецот со нафора ги извршува следните функции:

- Поддршка на повеќе обланди и одржување стабилно растојание

- Обезбедување на положната стабилност на наполитанките во средини со висока температура

- Обезбедување рамномерен проток на гас во врска со опремата

Структурата и материјалните својства на чамецот со нафора директно влијаат на дистрибуцијата на термичкото поле и конзистентноста на процесот.

02 Структурни карактеристики на чамците од силициум карбид

Бродови од силициум карбидобично користат дизајн на рамка, нудејќи висока структурна стабилност. Типични карактеристики вклучуваат:

- Повеќеслојна структура на слот за прецизно позиционирање на нафора

- Отворен дизајн за лесен проток на гас помеѓу обландите

- Рамка со висока цврстина за намалување на ризикот од деформација при високи температури

Во зависност од типот на опремата, чамците можат да бидат дизајнирани како вертикални или хоризонтални структури и да поддржуваат различни големини на нафора (на пр., 6-инчи, 8-инчи, 12-инчи).

03 Избор на материјал: зоштоСилициум карбид?

Како што процесите на полупроводници се развиваат кон повисоки температури и поголема чистота, традиционалните материјали како што се кварцот и алумината се сè понедоволни. Спротивно на тоа, силициум карбид нуди предности во неколку димензии на перформанси.

1. Отпорност на висока температура: Силициум карбид покажува добра структурна стабилност во температурен опсег од приближно 1200℃ до 1400℃. Под одредени услови со висока чистота или посебни процесни услови, може да се користи во уште повисоки температурни средини. Не покажува феномени на топење или значително омекнување слични на металните материјали при високи температури.

2. Висока топлинска спроводливост: силициум карбид поседува висока топлинска спроводливост, што помага да се намалат температурните разлики помеѓу обландите, а со тоа се подобрува конзистентноста на процесот.

3. Низок коефициент на термичка експанзија: силициум карбид има низок коефициент на термичка експанзија, што го намалува влијанието на термичкиот стрес врз обландите за време на процесите на загревање и ладење.

4. Хемиска стабилност: силициум карбид покажува добра хемиска стабилност во различни атмосфери, вклучувајќи оксидирачки и редуцирачки атмосфери. Сепак, тој сепак ќе претрпи бавна реакција на оксидација во средини со кислород со висока температура, формирајќи заштитен слој од силициум диоксид.

5. Контрола на чистота и контаминација на материјалот: Силициум карбид од полупроводник обично има строго контролирана содржина на нечистотии за да се намали ризикот од контаминација на површината на обландата. Постојат значителни разлики помеѓу материјалите што се користат во различни степени на процес.

04 Области на примена

Бродовите со силициум карбид во моментов се широко користени во повеќе полиња, вклучувајќи:

- Термичка обработка во производството на интегрирани кола

- Производство на енергетски полупроводнички уреди (на пр., SiC уреди)

- Високотемпературна обработка на фотоволтаични силиконски наполитанки

- Истражување и развој на полупроводнички материјал и процес

Неговите предности се уште поизразени во сценарија кои бараат висока температура, силна корозија или висока чистота.

Семикорекс нудиНафора чамци од SiC, цевки на печката, конзолни лопатки, итн во печки со висока температура. Ако имате какви било прашања или ви требаат дополнителни детали, не двоумете се да стапите во контакт со нас.

Контакт телефон +86-13567891907

Е-пошта: sales@semicorex.com