Структурни разлики помеѓу различни типови на реактори

Врз основа на конфигурацијата на комората за реакција, опремата за термичка обработка (опрема за цевки за печки) главно е поделена во три категории: вертикални цевки за печки, хоризонтални цевки за печки и печки за брза термичка обработка (RTP).

Вертикалните цевки на печката имаат вертикално наредени кварцни цевки, со наполитанки поставени околу цевките за загревање. Нивните главни предности се рамномерна распределба на температурата, прецизна контрола на атмосферата, висока автоматизација, помала контаминација со честички, мал отпечаток и поддршка за сериска обработка (особено погодна за наполитанки од 12 инчи), што ги прави мејнстрим опрема во моментов достапна. Големината на глобалниот пазар достигна 3,2 милијарди долари во 2024 година (податоци за SEMI). Нивните недостатоци вклучуваат лесно одвојување гас-течност и надолниот тек на медиумот што потенцијално предизвикува изгорување на цевката на печката.

Хоризонталните цевки на печката имаат хоризонтално поставени кварцни цевки, кои обработуваат 100-200 наполитанки истовремено. Нивните предности вклучуваат еднообразен проток на гас-течност во цевката на печката и попрецизна контрола на температурата. Нивните недостатоци вклучуваат поголем отпечаток и поголема потрошувачка на посредни потпори за цевки од високолегиран челик. Структурно, хоризонталните цевки на печката ги поставуваат наполитанките вертикално во хоризонталните цевки за обработка.

Печките за брзо термичко жарење (RTP) користат халогени инфрацрвени ламби за брзо загревање на единечни обланди, нудејќи брзи стапки на загревање и ладење кои ја менуваат само температурата на обландата без да ја менуваат температурата на комората. Тие се погодни за брзо жарење во мала серија, но не и за масовно производство.

Во обработката на нафора, хоризонталните цевки на печката ја ставаат нафората на кварцен брод, кој пак се потпира на рамка за поддршка на силициум карбид (SiC). Рамката за поддршка потоа се турка во цевката на кварцната печка, каде што нафората е подложена на реакција во зона со константна температура. Вертикалните цевки на печката, од друга страна, ставете ја нафората на кварцна кула и полека подигнете ја во цевката на кварцната печка за обработка. По реакцијата, нафората полека се спушта за да се спречи свиткување или кршење.

Semicorex обезбедува висококвалитетно приспособенореактор со кварцна печка. Нашите производи се конструирани да даваат врвна термичка стабилност, продолжен работен век и исклучителна конзистентност на процесот. За приспособени решенија или дополнителни технички информации, ве молиме слободно контактирајте го нашиот инженерски тим.

Телефон: +86-13567891907

Е-пошта: sales@semicorex.com