PBN композитни грејачи

Композитни грејачи на Semicorex PBN ја спојуваат одличната топлинска спроводливост на пиролитичкиот графит со хемиска инертност и електрична изолација на пиролитички боронски нитрид. Овие грејачи се изградени од многу висока чистота графит и PBN што се применува со употреба на висок квалитет на CVD (хемиски таложење на пареа) под услови на таложење на висока чистота. Секој поединечен слој за достигнување е депониран со многу екстремна контролабилност за да се обезбеди ултра-висока чистота и конзистентни термички својства. Графитското јадро, кое обезбедува брзо и униформно загревање во текот на целиот период, е заштитено од оксидација и загадување од капсулата PBN; Ова го прави грејачот идеален за околини за вакуум и инертен гас. Овие PBN грејачи се намерно дизајнирани за употреба во MBE (молекуларен зрак епитаксија) реактори, CVD реактори и други системи за раст на кристалот.

Композитниот грејач на пиролитичкиот борон нитрид-пиролитички графит (PBN-PG) е грејач кој користи PBN со висока изолација како подлогата и користи термичко распаѓање на термичкото декомпозиција на хемиски пареа (CVD) на низок притисок (под 10TorR) и висока температура за да се премачка на спроводливата PG. Главните компоненти на овој композитен грејач се пиролитички боронски нитрид (PBN) и пиролитички графит (PG). Поради одличната отпорност на корозија и отпорност на висока температура, таа главно се користи за греење на подлогата на полупроводникот (се користи во MBE, MOCVD, плукачка облога, итн.); Греење на подлогата на суперпроводници; Пример за греење за време на анализата на примерокот; Греење на примерок од електронски микроскоп; метално греење; Извор за греење на метално испарување, итн.

Грејачите на PBN можат да издржат работни температури до 1600 ° C во вакуум и да имаат подобрена способност да издржат термички шок во однос на сите алтернативи засновани на метал на кои би се потпирале. Површината на грејачот е исклучително мазна и густа и произведува значително помалку честички за време на работењето што е клучно за апликациите каде загадувањето не може да се толерира, како што е обработката на нафора на полупроводници.

Композитната структура обезбедува одлична термичка униформност низ површината на грејачот, а неговите отпорни патеки можат да се прилагодат за да се овозможи прилагодена дистрибуција на топлина. Овој дизајн овозможува брзи циклуси на рампа и cooldown за време на обработката без пукање и разграничување заради истите коефициенти на термичка експанзија на користените материјали. Електродите се способни да издржат континуирана работа со висока струја и исто така се компатибилни во вакуум.

Semicorex обезбедува неограничена флексибилност во дизајнот за уникатни форми, големини и барања за моќ кога е потребно, за да ги задоволи специфичните потреби за апликација; Без разлика дали станува збор за стандардни големини на нафта или посложени геометрии, ние гарантираме димензионална точност и термичка униформност во секоја произведена единица.

PBN композитни грејачи се совршени за ултра-чисти апликации, вклучително и:

• MBE системи за обработка на полупроводници на III-V и II-VI
• Системи за вакуумско обложување за оптички компоненти
• Системи за раст на кристалот за сафир и sic
• Термичка обработка на висока чистота за лабораториски околини за истражување и развој.