Електростатски чак PBN

Материјални својства наPBNЕлектростатски чак

Отпорност на високи температури и диелектрична цврстина

НаPBNЕлектростатскиот чак е познат по својата исклучителна отпорност на високи температури, особина која е клучна во процесот на производство на полупроводници. Пиролитичкиот бор нитрид (PBN), материјалот што се користи во конструкцијата на чакот, покажува отпорност поголема од најчесто користената керамика, што е од клучно значење за одржување на силата на чадот Johnsen-Rahbek (J-R) до температури од 1050 °C. Оваа висока отпорност, заедно со неговата висока диелектрична цврстина, гарантира дека електричниот дефект е ефикасно спречен дури и при силна топлина, а со тоа ја подобрува оперативната сигурност на чак.

Термичка униформност и отпорност на удар

Шестоаголната решеткаста структура на PBN, подготвена преку хемиско таложење на пареа на температури над 1500°C, придонесува за неговата извонредна топлинска униформност и отпорност на удар. Грејните елементи со висока густина во рамките наPBNЕлектростатскиот чак му овозможува да постигне постојан термички профил на обланда со добра униформност од 1,1–1,5% на температури од 600–800°C. Дополнително, чакот базиран на PBN демонстрира извонредна отпорност на термички удар и помала топлинска маса, овозможувајќи му да достигне 600°C при брза брзина од 23°C/сек без ризик од пукање или раслојување.

Приспособливо повеќезонско греење

Електростатскиот чак PBN е многу приспособлив, со можности за повеќезонско загревање што овозможува максимална контрола на температурата. Ова ниво на приспособување осигурува дека секоја чак може да се приспособи за да ги задоволи специфичните барања на индивидуалните клиенти, обезбедувајќи флексибилно решение за различни апликации за обработка на полупроводници.

Апликации наPBNЕлектростатски чак

Имплантација на јони и ракување со нафора

Електростатскиот чак PBN е претпочитаниот апарат за ракување со нафора во процесите на имплантација на јони. Неговата способност да држи наполитанки на температури поголеми од 1000°C го прави еден од најразновидните електростатички чак на пазарот. Оваа разновидност е дополнително засилена со нејзиниот капацитет да одржува наполитанки во многу тесни температурни опсези, благодарение на повеќезонските грејни елементи со висока густина.

Имплантација на силициум карбид јони

Во специфичната примена на имплантација на SiC јони, наPBNЕлектростатскиот чак нуди одржливо решение за предизвиците на загревањето и ракувањето со обланда. Неговите способности за двојна функција, кои вклучуваат голема сила на шлаг, висока моќ на загревање, добра топлинска униформност и брз одговор, го прават идеален избор за решавање на сложените барања на имплантација на SiC јони.

Производство на полупроводници

Електростатскиот чак PBN игра клучна улога во производството на полупроводници, каде прецизното ракување со нафора и контролата на температурата се неопходни. Неговата висока отпорност на термички шок и способностите за брзо зголемување на температурата го прават погоден за напредни полупроводнички процеси кои бараат ригорозно управување со температурата и брз термички циклус.