PBN грејач

Semicorex Pyrolytic Boron Nitride PBN грејач е компонента за греење со висока чистота, високо-перформанси дизајнирана за барање апликации каде што се неопходни ултра-чисти, хемиски стабилни и термички ефикасни материјали. Произведено преку процес на таложење на хемиска пареа (CVD), PBN покажува исклучителна термичка спроводливост, отпорност на висока температура и извонредна хемиска инерција, што го прави идеален избор за обработка на полупроводници, раст на кристалот и вакуумски апликации.

PBN грејачот е грејач кој користи високо изолациски PBN како подлога и користи термичко распаѓање на термичко распаѓање на термичкото распаѓање (CVD) за да го премачкува спроводливото PG при низок притисок (под 10TORR) и висока температура. Главните компоненти на овој композитен грејач се пиролитички боронски нитрид (PBN) и пиролитички графит (PG). Поради одличната отпорност на корозија и отпорност на висока температура, таа главно се користи за греење на подлогата на полупроводникот (се користи во MBE, MOCVD, плукачка облога, итн.); Греење на подлогата на суперпроводници; Пример за греење за време на анализата на примерокот; Греење на примерок од електронски микроскоп; метално греење; Извор за греење на метално испарување, итн.

PBN е инертен на корозивни гасови; има висока чистота (поголема од 99,99%); не влажно или реагира со повеќето стопени метали (има карактеристики на нелеплива тава, а металот може да се користи 100%); има добра отпорност на висока температура (максималната работна температура е 2000 ℃); добра густина; Добрата отпорност на термички шок и други одлични својства го прават идеален материјал за подготовка на композитни грејачи PBN-PG. PG може брзо да се загрева до 1600 ℃ (во инертен атмосфера и под вакуум) во PBN грејач. Во исто време, во комбинација со добра термичка спроводливост на PBN, површината за греење има добра топлотна униформност. Со брзиот развој на сродните индустрии, побарувачката за PBN-PG композитни грејачи исто така брзо се зголеми.

PBN грејачи можат да бидат фабрикувани во различни форми и конфигурации за да се исполнат специфичните барања за дизајн и интеграција. Типични дизајни вклучуваат рамни греалки, тубуларни грејачи и сопствени геометрии со вградени или површински монтирани елементи за греење. Елементите за греење обично се изработени од пиролитички графит (PG) и се капсулираат во PBN, обезбедувајќи целосно запечатена, електрично изолациска и термички ефикасна структура.