Соларен графитен брод PECVD

СемикорексPECVD соларни графитни чамцисе прецизно направени од висока чистотаизостатски графит. Секој PECVD соларен графитен брод од Semicorex е подложен на прецизна обработка, димензионална инспекција и тестирање на електричните перформанси за да се обезбеди стабилна изведба во средини со плазма со висока температура.

За време на PECVD обработката, PECVD соларниот графитен брод носи силиконски наполитанки во комората за реакција PECVD и служи како електрода поврзана со напојувањето со RF. Кога се применува наизменичен напон помеѓу соседните чамци, се воспоставува електрично поле. Под влијание на електричното поле, реактивните гасови (како што се силинот SiH4 и амонијак NH3) подлежат на празнење на сјај и генерираат плазма. Јоните и слободните радикали во плазмата ги разложуваат прекурсорните гасови, формирајќи силициум (Si) и азот (N) јони. Овие јони се комбинираат за да формираат молекули на силициум нитрид (Si3N4), кои потоа се депонираат на површината на силиконската обланда за да формираат тенки филмови.

1. Исклучителна термичка стабилност

Со коефициент на термичка експанзија близок до оној на силиконските наполитанки, SemicorxБрод од соларен графит PECVDдоживува незначителни димензионални промени при загревањето, што сигурно го избегнува оштетувањето на наполитанките предизвикано од термички стрес.

2. Супериорна електрична и топлинска спроводливост

Соларните графитни чамци Semicorex PECVD имаат одлична електрична спроводливост, обезбедувајќи брза спроводливост на струјата на RF и рамномерна дистрибуција на електричното поле, што е корисно за стабилно производство на плазма и униформно таложење на силиконски нафора. Дополнително, неговата супериорна топлинска спроводливост го олеснува брзото ладење и загревање, подобрувајќи ја ефикасноста на производството додека спречува локализираното прегревање да влијае на квалитетот на таложењето.

3. Силна хемиска стабилност

Благодарение на употребата на материјал од врвна класа, соларниот графитен брод Semicorex PECVD е помалку подложен на реакција со реактивни гасови и плазма. Оваа карактеристика значително ја спречува нерамномерната распределба на електричното поле предизвикана од корозија, деформација или таложење на нечистотии во графитниот чамец, со што се обезбедува стабилност на процесот на таложење и квалитетот на површината на силиконските наполитанки.

4. Извонредна механичка сила

Со својата извонредна механичка сила, соларниот графитен чамец Semicorex PECVD може лесно да се справи со тежината на големото оптоварување на нафора. Тие можат долго време да го издржат механичкиот стрес генериран при товарење и транспорт без лесно да се деформираат или кршат.

5. Одлична димензионална конзистентност

Соларниот графитен брод Semicorex PECVD постигнува исклучителна димензионална точност низ сите компоненти преку прецизна обработка. Ја одржува силиконската обланда во фиксна положба за време на таложењето, што обезбедува рамномерно таложење и компатибилност со автоматското производство.