Носачите на нафора на Semicorex PFA се високо-чистота, хемиски отпорен раствор дизајниран за безбедно ракување и транспорт на полупроводници нафори во ултра-чисти околини. Доверлив со водечки FABs и OEM, Semicorex испорачува прецизни инженерски превозници со постојан квалитет, брзо време на олово и целосно прилагодување за да се исполнат развојот на барањата за напредно производство на полупроводници.*
Semicorex PFAНосачи на нафтасе носачи со високи перформанси дизајнирани за безбедно ракување, складирање и транспорт на полупроводнички нафори во ултра чиста околина. Производството на напредни полупроводници гарантира дека носачите на нафта PFA нудат неспоредлив хемиски отпор, термичка стабилност и контрола на честички од интегритетот и чистотата на нафорите за време на измислицата до конечно тестирање.
Направени од нови PFA, овие носачи на нафора покажуваат голема отпорност на груби хемикалии како силни киселини, бази и растворувачи кои обично се користат при чистење и гравирање на нафори. Многу ниските својства на исцедување на јон и излез на јон го прават најпосакуваниот материјал за важни задачи за чистење простории, каде што дури и ситните количини на загадувачи можат да влијаат на приносите на уредот.
Носачите на нафта PFA се направени во чисти простории и работат со стандардите за чиста просторија од класа 1 (ISO класа 3). Нежната, нелеплива површина на PFA ја минимизира генерирањето на честички и лепење, спречувајќи загадување од остатоци или честички. Покрај тоа, хидрофобната природа на ПФА олеснува темелно плакнење и брзо сушење, што дополнително го намалува ризикот од вкрстено загадување за време на чекорите за обработка на влажна.
Секој носач на нафта PFA е точно направен за да се осигура дека е безбеден, па дури и поддршка на нафорите за време на движењето и чувањето. Grooved слотовите им помагаат на нафта со мал контакт, намалувајќи го стресот и чипувањето на рабовите на нафорите. Носачите доаѓаат во многу форми за да соберат различни големини на нафора, кои вклучуваат дијаметар од 100 мм, 150 мм, 200 мм и 300 мм. Факултативните врвови и тесните начини на заклучување даваат дополнителна безбедност од шок на војните, вибрациите и изложеноста на околината.
Поради одличната термичка отпорност на PFA до 260 ° C, тој е компатибилен со процесите на висока температура, како што се дифузија, оксидација и таложење на хемиска пареа CVD. Превозникот го задржува својот структурен интегритет под повторено термички велосипедизам и затоа е погоден и за серии и за автоматизирани околини за обработка.
Носачите на нафта PFA имаат широки апликации при чистење на нафта, влажно гравирање, CMP за фотолитографија и други процеси на предната и задната страна во измислицата на ИЦ. Нивниот стабилен дизајн и чистота ги прават идеални за употреба во FABS, лаборатории за истражување и развој и ОЕМ опрема за кои се потребни строги протоколи за контрола на загадување.
ПрилагоденоНосачи на нафта PFAМоже да се развие за да се исполнат специфичните барања за автоматизација, вклучително и роботско ракување, системи за следење и вертикален/хоризонтален транспорт. Носачите се целосно компатибилни со стандардната опрема за ракување со нафора и алатките за производство на полупроводници.