Порозен алумина вакуум чак

Semicorex Porous Alumina Vacuum Chuck е носечка платформа за фиксирање на производите користејќи го принципот на вакуумско вшмукување, неговиот дел од преносниот вакуум е типично порозна керамичка плоча од Алумина. Порозната керамичка плоча е вградена во дупката во основата, нејзиниот периметар е залепен и запечатен на основата, а основата е обработена со густи керамички или метални материјали. Под минусниот притисок во работната средина, чакот е поврзан со вакуумската пумпа преку порозната структура во внатрешноста на керамичката плоча за да извлече воздух, со што областа под обландата формира вакуумска област која е многу пониска од надворешниот атмосферски притисок. Под дејство на силната разлика во притисокот, нафората е цврсто прицврстена на површината на чак. Вообичаено, колку е повисок степенот на вакуум под обландата, толку е поцврста адхезијата помеѓу чашката и работното парче и толку е посилна силата на адсорпција.

Во индустријата за полупроводници и микроелектроника, прецизноста не е само услов - тоа е стандард. Порозниот вакуум чак од алумина (исто така познат како керамички вакуум чак) е критична компонента дизајнирана да обезбеди еднообразно вшмукување без замаглување за деликатните подлоги за време на процесите на литографија, проверка и коцки.

Што е порозен алумина вакуум чак?

За разлика од традиционалните метални чаши кои користат машински жлебови за да создадат вшмукување, порозната керамичка чак користи специјализирана микроскопска структура на пори. Ова овозможува вакуумскиот притисок да се дистрибуира рамномерно низ целата површина на работното парче, спречувајќи го „дупнувањето“ или деформацијата што често се гледа со дизајни со жлебови.

Клучни технички спецификации

За да ги разбереме перформансите на овие компоненти, ги разгледуваме својствата на материјалот на Al2O3 со висока чистота:

Зошто да изберете порозна алумина наместо традиционални материјали?

1. Супериорна плошност и униформност

Микроскопската структура на порите гарантира дека вакуумската сила се применува на 100% од површината за контакт. Според податоците од индустријата, еднообразното вшмукување го намалува напрегањето на обландата до 40% во споредба со традиционалните жлебови чаки од нерѓосувачки челик.

2. Висока термичка стабилност

Алумина керамиката поседува низок коефициент на термичка експанзија (CTE). При обработка на висока температура или ласерска инспекција, чак ги одржува своите димензии, осигурувајќи дека длабочината на фокусот останува константна.

3. ESD и контрола на контаминација

Алумината со висока чистота е хемиски инертна и природно отпорна на корозија. Понатаму, може да се применат специјализирани „црна алумина“ или антистатички облоги за да се спречи електростатско празнење (ESD), кое е одговорно за речиси 25% од загубата на полупроводникот во некои средини.

Примарни апликации во производството со висока технологија

Полупроводничка обработка на нафора

Случајот за примарна употреба е во фотолитографија и љубопитство на нафора. Екстремната плошност (<2μm) гарантира дека нафората останува во тесната длабочина на полето на напредните оптички системи.

Производство на соларни ќелии со тенок филм

За флексибилни или екстремно тенки подлоги, традиционалните вакуумски канали може да предизвикаат физичко оштетување. „Дише“ површината на порозната керамика делува како нежно воздушно перниче или плоча за вшмукување, заштитувајќи ги кревките слоеви.

Брусење на оптички леќи

Порозната алумина се користи за држење на леќите при прецизно мелење, каде што секоја вибрација или нерамномерен притисок ќе резултира со оптички аберации.

Најчесто поставувани прашања (ЧПП)

П1: Како го чистите порозниот алумина вакуум чак?

О: Чистењето е од витално значење за одржување на вшмукување. Препорачуваме користење на ултразвучно чистење во дејонизирана вода или специјализирани растворувачи. Бидејќи алумината е хемиски стабилна, може да ги издржи повеќето киселински или алкални средства за чистење. Осигурете се дека чакот е печен сув за да се отстрани влагата од порите.

П2: Дали големината на порите може да се прилагоди за специфични подлоги?

О: Да. Помалите пори (приближно 10μm - 20μm) се подобри за ултра-тенки филмови за да се спречи „отпечатување“, додека поголемите пори нудат поголем проток на воздух за потешки или попорозни работни парчиња.

П3: Која е максималната работна температура?

О: Додека самата керамика може да издржи температури што надминуваат 1500℃, склопот на вакуум чак (вклучувајќи ги заптивките и куќиштата) обично е оценет за до 250℃ до 400℃ во зависност од методот на поврзување.