Трајните прстени за фокусирање Semicorex за полупроводничка обработка се дизајнирани да ги издржат екстремните средини на плазма коморите за гравирање што се користат во полупроводничка обработка. Нашите фокусни прстени се направени од графит со висока чистота обложен со густа, отпорна на абење обвивка од силициум карбид (SiC). Облогата SiC има високи својства на отпорност на корозија и топлина, како и одлична топлинска спроводливост. Нанесуваме SiC во тенки слоеви на графитот користејќи го процесот на хемиско таложење на пареа (CVD) за да го подобриме работниот век на нашите фокусни прстени.
Прочитај повеќеИспрати барање