Трајните прстени за фокусирање Semicorex за полупроводничка обработка се дизајнирани да ги издржат екстремните средини на плазма коморите за гравирање што се користат во полупроводничка обработка. Нашите фокусни прстени се направени од графит со висока чистота обложен со густа, отпорна на абење обвивка од силициум карбид (SiC). Облогата SiC има високи својства на отпорност на корозија и топлина, како и одлична топлинска спроводливост. Нанесуваме SiC во тенки слоеви на графитот користејќи го процесот на хемиско таложење на пареа (CVD) за да го подобриме работниот век на нашите фокусни прстени.
Нашите издржливи прстени за фокусирање за полупроводничка обработка се дизајнирани да ја подобрат униформноста на офорт околу работ или периметарот на обландата, минимизирајќи ја контаминацијата и непланираното одржување. Тие се многу стабилни за брзо термичко жарење (RTA), брза термичка обработка (RTP) и грубо хемиско чистење.
Во Semicorex, ние се фокусираме на обезбедување на висококвалитетни, економични издржливи прстени за фокусирање за полупроводничка обработка, даваме приоритет на задоволството на клиентите и обезбедуваме економични решенија. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер, обезбедувајќи производи со висок квалитет и исклучителна услуга за клиентите.
Контактирајте не денес за да дознаете повеќе за нашите издржливи прстени за фокусирање за полупроводничка обработка.
Параметри на трајни фокусни прстени за полупроводничка обработка
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
Својства на SiC-CVD |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Големина на зрно |
μm |
2~10 |
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
Топлински капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на трајните прстени за фокусирање за полупроводничка обработка
● Графит со висока чистота и слој SiC за отпорност на дупки и поголем животен век.
● И графитната подлога и слојот SiC имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.
● SiC облогата се нанесува во тенки слоеви за да се подобри работниот век.