Процес грејач на нафора

Semicorex е голем производител и добавувач на силикон карбид обложен графит сусцептор во Кина. Се фокусираме на полупроводничките индустрии како што се слоевите на силициум карбид и епитаксичните полупроводници. Нашиот грејач на нафора има добра ценовна предност и покрива многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер.

Испрати барање

Опис на производот

Процесот на грејач на нафора Semicorex е направен од графит со облога со силициум карбид (SiC), облогата се нанесува со CVD метод на специфични степени на графит со висока густина, за да може да работи во печка со висока температура со над 3000 °C во инертна атмосфера. 2200°C во вакуум.
Посебните својства и малата маса на материјалот на Wafer Process Heater овозможуваат брзи стапки на загревање, рамномерна распределба на температурата и извонредна прецизност во контролата. Во споредба со други материјали, површината на силициум карбид останува рамна поради неговата мала термичка експанзија дури и кога работи со брзи промени во температурата. Грејните плочи се многу погодни за тешки процеси во полупроводничките системи за обработка.
Во Semicorex, ние се фокусираме на обезбедување висококвалитетни, економични производи за нашите клиенти. Нашиот грејач на нафора има ценовна предност и се извезува на многу европски и американски пазари. Наша цел е да бидеме ваш долгорочен партнер, обезбедувајќи производи со постојан квалитет и исклучителна услуга за клиентите.

Параметри на грејач на процесот на нафора

Техничка спецификација	VET-M3
Обемна густина (g/cm3)	≥ 1,85
Содржина на пепел (PPM)	≤500
Тврдост на брегот	≥45
Специфичен отпор (μ.Ω.m)	≤12
Јачина на свиткување (Mpa)	≥40
Јачина на притисок (Mpa)	≥70
Макс. Големина на зрно (μm)	≤43
Коефициент на термичка експанзија Mm/°C	≤4,4*10-6

Карактеристики на грејач за процесот на нафора

- CVD SiC облоги за подобрување на работниот век.
- Отпорност на висока температура, отпорност на корозија, долг работен век, може да го подобри квалитетот и приносот на нафора.
- Има екстремно низок коефициент на термичка експанзија, отпорност на висока температура, висока отпорност на абење, добра изолација, добра хемиска стабилност и речиси виолетова (црвена) видлива светлина пенетрација.

Можеме да обезбедиме графитна садница за антиоксидација и долг животен век, графитна мувла и сите делови од графитниот грејач.