Капакот на комората од силициум карбид што се користи за раст на кристали и обработка на обланда мора да издржи високи температури и грубо хемиско чистење. Semicorex е голем производител и добавувач на силикон карбид обложен графит сусцептор во Кина. Нашите производи имаат добра ценовна предност и покриваат голем дел од европскиот и американскиот пазар. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер.
Капакот на комората од силициум карбид што се користи за раст на единечни кристали или MOCVD или обработка на обланда мора да издржи високи температури и грубо хемиско чистење. Semicorex обезбедува графитна конструкција обложена со силициум карбид (SiC) со висока чистота, обезбедува супериорна отпорност на топлина, дури и топлинска униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи, и издржлива хемиска отпорност. Тие се издржливи за да искусат комбинација од испарливи прекурсорни гасови, плазма и висока температура.
Нашиот капак на комората од силикон карбид е дизајниран да го постигне најдобриот ламинарен проток на гас, обезбедувајќи рамномерност на термичкиот профил. Ова помага да се спречи каква било контаминација или дифузија на нечистотии, обезбедувајќи висококвалитетен епитаксијален раст на чипот на нафора.
Контактирајте не денес за да дознаете повеќе за нашиот капак на комората од силикон карбид.
Параметри на капакот на комората од силициум карбид
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
Својства на SiC-CVD |
||
Кристална структура |
Фаза FCC β |
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Големина на зрно |
¼ м |
2~10 |
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
Топлински капацитет |
J·kg-1·K-1 |
640 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300) |
430 |
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на капакот на комората од силикон карбид
â Ултра рамни способности
â Полирање на огледала
â Исклучително мала тежина
â Висока вкочанетост
â Ниска термичка експанзија
â Екстремна отпорност на абење