Капак на комората од силикон карбид

Капакот на комората од силициум карбид што се користи за раст на кристали и обработка на обланда мора да издржи високи температури и грубо хемиско чистење. Semicorex е голем производител и снабдувач на силикон карбид обложен графит сусцептор во Кина. Нашите производи имаат добра ценовна предност и покриваат многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер.

Испрати барање

Опис на производот

Капакот на комората од силициум карбид што се користи за раст на единечни кристали или MOCVD или обработка на обланда мора да издржи високи температури и грубо хемиско чистење. Семикорекс обезбедува графитна конструкција обложена со силициум карбид (SiC) со висока чистота, обезбедува супериорна отпорност на топлина, дури и топлинска униформност за конзистентна дебелина и отпорност на епи слојот и издржлива хемиска отпорност. Тие се издржливи за да искусат комбинација од испарливи прекурсорни гасови, плазма и висока температура.
Нашиот капак на комората од силикон карбид е дизајниран да го постигне најдобриот ламинарен проток на гас, обезбедувајќи рамномерност на термичкиот профил. Ова помага да се спречи каква било контаминација или дифузија на нечистотии, обезбедувајќи висококвалитетен епитаксијален раст на чипот на нафора.
Контактирајте не денес за да дознаете повеќе за нашиот капак на комората од силикон карбид.

Параметри на капакот на комората од силициум карбид

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300