Керамички краен ефектор

Semicorex е вашиот партнер за напредни графитни компоненти и склопови за поддршка на поголема пропусност и подобри приноси во вашата опрема за обработка на полупроводници. Нашите експерти за материјали се спремни да работат со вас за да го развијат оптималното правилно решение за вашите барања за ракување, загревање и обработка на нафора. Нашиот керамички краен ефектор има добра ценовна предност и покрива многу европски и американски пазари. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во Кина.

Испрати барање

Опис на производот

Ceramic End Effector е раката на роботот која ги движи полупроводничките наполитанки помеѓу позициите во опремата за обработка на нафора и носачите. Крајниот ефектор мора да биде димензионално прецизен и термички стабилен, а истовремено да има мазна површина отпорна на абење за безбедно ракување со наполитанките без да се оштетуваат уредите или да се создава контаминација со честички. Нашиот керамички краен ефектор со силициум карбид со висока чистота обезбедува супериорна отпорност на топлина, дури и топлинска униформност за конзистентна дебелина и отпорност на слојот на епи-слој и издржлива хемиска отпорност.

Во Semicorex, ние се фокусираме на обезбедување висококвалитетен, рентабилен керамички краен ефектор, даваме приоритет на задоволството на клиентите и обезбедуваме исплатливи решенија. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер, обезбедувајќи производи со висок квалитет и исклучителна услуга за клиентите.

Параметри на керамички краен ефектор

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300